扫描电子显微镜
SEM3200
SEM3200是一款高性能、应用广泛的通用型钨灯丝扫描电子显微镜。拥有*的成像质量、可兼容低真空模式、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。
大景深，成像富有立体感。丰富的扩展性，助您在显微成像的世界中尽情探索。
产品特点（*为选配件）
丰富的扩展性
SEBSEEDSEBSD等
光学导航
可快速定位目标样品和感兴趣区域
*大图拼接
可实现全自动的采图和拼接，展示大视野画面
图像混合成像（SE+BSE）
在一个图像中观察到样品的成分和表面信息
*双阳极结构
双阳极结构设计，提升了低电压下的分辨率和成像质量
*低真空模式
在低真空下提供样品表面细节和形貌，软件一键切换真空状态
（*为选配件）
低电压
碳材料样品，低电压下，穿透深度较小，可以获取样品表面真实形貌，细节更丰富。
低电压-碳高电压-碳
毛发样品，在低电压下，电子束辐照损伤减小，同时消除了荷电效应。
低电压-毛发高电压-毛发
低真空
过滤纤维管材料，导电性差，在高真空下荷电明显，在低真空下，无需镀膜即可实现对不导电样品的直接观察。
低真空高真空
大视场
生物样品，采用大视场观察，能够轻松获得瓢虫整体形貌及头部结构细节，展现跨尺度分析。
低电压-毛发高电压-毛发
导航&防碰撞
光学导航
想看点，导航更轻松
标配仓内摄像头，可拍摄高清样品台照片，快速定位样品。
光学导航
手势快捷导航
可通过双击移动、鼠标中键拖动、框选放大，进行快捷导航
如框选放大：在低倍导航下，获得样品的大视野情况，可快速框选您感兴趣的样品区域，提高工作效率。
手势快捷导航手势快捷导航
防碰撞技术
采取多维度的防碰撞方案：
1. 手动输入样品高度，*控制样品与物镜下端距离，防止发生碰撞；
2. 基于图像识别和动态捕捉技术，运动过程中对仓内的画面进行实时监测；
3.*硬件防碰撞，可在碰撞一瞬间停止电机，减少碰撞损伤。
特色功能
智能辅助消像散
直观反映整个视野的像散程度，通过鼠标点击清晰处，可快速调节像散至*。
自动聚焦
一键聚焦，快速成像。
自动消像散
一键消像散，提高工作效率。
自动亮度对比度
一键自动亮度对比度，调出灰度合适图像。
多种信息同时成像
SEM3200软件支持一键切换SE和BSE的混合成像。可同时观察到样品的形貌信息和成分信息。
快速图像旋转
拖动一条线，图像立刻“摆正角度”。
丰富拓展性
扫描电子显微镜不仅局限于表面形貌的观察，更可以进行样品表面的微区成分分析。
SEM3200接口丰富，除支持常规的二次电子探测器（ETD）、背散射电子探测器（BSED）、X射线能谱仪（EDS）外，也预留了诸多接口，如电子背散射衍射（EBSD）、阴极射线（CL）等探测器都可以在SEM3200上进行集成。
背散射电子探测器
二次电子成像和背散射电子成像对比
背散射电子成像模式下，荷电效应明显减弱，并且可以获得样品表面更多的成分信息。
镀层样品：
镀层样品SE镀层样品BSE
钨钢合金样品：
钨钢合金样品SE钨钢合金样品BSE
五分割半导体背散射探测器——多通道成像
探测器设计精巧，灵敏度高，采用5分割设计，无需倾斜样品，可获得不同方向的阴影像以及成分分布图像。
单通道阴影像
成分像
能谱
LED小灯珠能谱面分析结果。
电子背散射衍射
钨灯丝电镜束流大，完全满足高分辨EBSD的测试需求，能够对金属、陶瓷、矿物等多晶材料进行晶体取向以及晶粒度大小等分析。
该图为Ni金属标样的EBSD反极图，能够识别晶粒大小和取向，判断晶界和孪晶，对材料组织结构进行判断。
应用案例
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型号 |
SEM3200A |
SEM3200 |
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电子光学系统 |
电子枪类型 |
预对中型发叉式钨灯丝电子枪（灯丝电流3档可调，可显示灯丝更换时间） |
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分辨率 |
高真空 |
3 nm @ 30 kV（SE） |
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4 nm @ 30 kV（BSE） |
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8 nm @ 3 kV（SE） |
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15 nm @ 1 kV |
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*低真空 |
3 nm @ 30 kV（SE） |
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放大倍率 |
1-300,000x（底片倍率） |
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1-1000,000x（屏幕倍率） |
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加速电压 |
0.2 kV～30 kV |
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探针电流 |
≥1.2μA，可实时显示 |
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成像系统 |
探测器 |
二次电子探测器（ETD） |
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*背散射电子探测器、*低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等 |
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图像保存格式 |
TIFF、JPG、BMP、PNG |
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真空系统 |
真空模式 |
高真空 |
优于5×10-4 Pa |
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*低真空 |
5～1000 Pa |
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控制方式 |
全自动控制 |
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涡轮分子泵 |
≥ 240 L/S |
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机械泵 |
200 L/min （50 Hz） |
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样品室 |
摄像头 |
光学导航 |
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样品仓内监控 |
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样品台配置 |
三轴自动 |
*五轴自动 |
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行程 |
X: 120 mm |
X: 120 mm |
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Y: 115 mm |
Y: 115 mm |
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Z: 50 mm |
Z: 50 mm |
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/ |
R: 360° |
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/ |
T: -10°～ +90° |
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能谱仪 |
能谱仪探测器 |
分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积≥30 mm2，晶体面积≥50 mm2，高分子薄窗设计，无需液氮冷却，仅消耗电能 |
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能谱仪能量分辨率 |
Mn Ka保证优于129eV |
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元素分析范围 |
B5～Cf98 |
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软件 |
语言 |
中文 |
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操作系统 |
Windows |
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导航 |
光学导航、手势快捷导航、可自动叠加电镜图片 |
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自动功能 |
自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
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特色功能 |
智能辅助消像散、*大图拼接（选配软件） |
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安装要求 |
房间 |
长 ≥ 3000 mm，宽 ≥ 4000 mm，高 ≥ 2300 mm |
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温度 |
20 ℃～25 ℃ |
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湿度 |
≤ 50 % |
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电气参数 |
电源AC 220 V(±10 %)，50 Hz，2 kVA |
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