功能介绍Function Introduction
四点探针法、全自动化运行测量系统
PC软件采集和数据处理、ASTM方法
自动正/负电流输出，自动正/负电压测量
FT-3110B全自动四探针测试仪
测量电阻率、方块电阻、厚度
可调探针压力、测试点数、多种模式
显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值
提供标准校准电阻件、数据统计分析
适用范围Scope of application
晶圆、非晶硅/微晶硅和半导体衬底电阻率测量；选择性发射极扩散片；
表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；*电极设计，如电镀铜电阻测量等；
FT-3110B全自动四探针测试仪
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规格型号 |
FT-3110B（可扩展） |
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1.方块电阻 |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
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2.电阻率 |
10-7～2×106Ω-cm |
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3.测试电流 |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
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4.电阻精度 |
≤0.3%（标准电阻） |
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5.PC软件操作 |
PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、报表生成等 |
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6.压力范围 |
探针压力可调范围：100-500g |
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7.探针 |
钨钢材质，探针间距1mm；机械游移率：≤0.3%；其他规格可定制 |
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8.载台类型及尺寸选购 |
选购1:圆形载台晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 选购2：方片载台尺寸：153mm*153mm范围内定制规格 |
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9.分析模式 |
单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试 |
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10.重复性 |
单点重复性：重复性≤0.5% |
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11.防护功能 |
具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报 |
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12.电源 |
输入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W |
