中微半导体设备(上海)股份有限公司:
在极度微观的芯片世界里,光刻机负责“画图”,而刻蚀机则负责“雕刻”出真实的3D沟槽与孔洞。在这个壁垒极高的*领域,中微公司(AMEC)硬生生切开了一条血路。其研发的电容耦合等离子体(CCP)及电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备,不仅*打入了全球*晶圆代工厂的5纳米及更*制程产线,更在MOCVD(金属有机化学气相沉积)设备领域独霸全球LED市场。
等离子刻蚀技术是人类驾驭微观粒子的*之作。在真空反应腔室中,强射频(RF)电场将特种气体激发为高能等离子体,以极高的均匀性和选择比,轰击晶圆表面,雕刻出深宽比高达几十比一的细微深孔。腔室内哪怕出现百分个大气压的波动,或者极微小的温度不均,都会导致整片晶圆报废。
为了实现这种神乎其技的控制力,中微公司在刻蚀机的制造与组装中,对仪器仪表(MRO)的选用达到了极其吹毛求疵的地步。腔室气压的*反馈,全靠长野计器(NAGANO KEIKI)和东京计器(TOKYO KEIKI)的*压力变送器;复杂气路的开闭,离不开喜开理(CKD)等的洁净隔膜阀;而控制等离子体反应的关键温度场,则需要用到大浩研热(DAICO)或RKC极其敏锐的温控系统。每一台*刻蚀机的下线,都是建立在*全球MRO供应链的精密配合之上。
高斯摩(成都)国际贸易目前公司是国内西南部*的MRO供应公司: 具有优势的:CCS晰号速、SEN日森、EVE岩崎、USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、HKARIYA光屋、SERIC索莱完、REVOX莱宝克斯、Nidec尼得科、ORIHARA折原、SONIC索尼克、YUASA尤安萨、EVELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JKCO吉高、NPM日脉、AND艾安德、TOSEI东精、ONOSOKK小野、PISCO碧铄科、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日、NITTO KOHKI日东工器、TAISE大生、日本MAGNESCALE索尼、日本KOSME考世美、OPTEX奥普士、ORC欧阿希、RKC、RION理音、OHM、KYOWA共和、YAMADA山田光学、ASKER、NSK、NBK、FREEBEAR、CHINO千野、COPAL科宝、AMANO安满能、HORIBA场、DELVO达威、TOMOE、SUMICO住矿、SATO、CKD喜开理、IMAO今尾、MASUDA增田、KETT凯特、MARUYAMA丸山、MARUI KEIKI丸井、KONSE近畿、TOYO、OSAKA、KAKUTA角田、FUJI富士、NAGANO KEIKI长野计器、HIOKI日置、OSAWA大泽、TOKYO KEIKI东京计器、ACCRETECH东京精密、ACE GIKEN技研、ADCMT爱德万、ADVANTEC东洋、AICHI TOKEI爱知时计、AIrTAC亚德客、AITEC艾泰克、AMADA天田、ANRITSU安立计器、ARIMITSU有光、ASAHI旭产业、ASONE亚速旺、SUGIYAMA杉山电机、TAMAGAWA多摩川、TRUSCO中山、ATAGO爱拓、ATEC爱泰克、ATLASCOPCO阿特拉斯、AZBIL山武、CEDAR思达、CEMEDINE施敏打硬、CHELIC气立可、CONVUM妙德、COSEL科索、COSMOS新宇宙、COSMO科斯莫、CUSTOM东洋、DAICO大浩研热、DDK东亚电波、DENSO丹索、DFAIC东仪、DSK电通产业、EIWA荣和、ELECOM宜丽客、EMIC爱美克、ESCO艾斯科、EXCEL艾库斯、EVELA东京理化、FANUC发那科、ULVAC爱发科、FUJIFILM富士、FUJILATEX不二精器、FUJISTAR三共理化学、FUJI不二空机、FUKUDA福田电机、FUSOSEIKI扶桑精机、GOE吴英制作所、GRAPHTEC图技、HANNA哈纳、HATAYA烟屋、HAYASHI林时计、HELLERMANNTYTON海尔曼太通、HITACHI日立、HOKUYO北阳、HONDA本多、HOYA、HRB哈尔滨、HUGLE联言、IDEC和泉、IIJIMA饭岛电子、IMADA依梦达、IMV艾目微、INFLIDGE英富丽、ISEL艾塞路、ITOH伊藤、IWAKI易威奇、IZUMI泉精器、JST日压、UNIPULSE优尼帕斯、日本UNITTA、日本KEM、SIGMAKOKI西格玛光机、SAKAGUCHI坂口电热。