椭圆偏振测厚仪的作用

编号

名称

参数

1

测量范围

1nm-300nm

2

测量小值

≤1nm

3

入射角

30°～90°误差≤0.1°

4

偏振器方位角读数范围

0°～180°

5

度盘刻度

每格2度

6

游标小读数

0.05°

7

光学中心高度

152mm

8

工作台直径

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主机重量

20kg