Fluoro福乐 伯努利非接触晶圆吸盘 BC-K系列
Fluoro福乐 伯努利非接触晶圆吸盘 BC-K系列

【伯努利效应实现非接触拾取】
BC-K系列利用高速气流在吸盘与晶圆之间形成负压区域的原理工作。压缩空气从吸盘表面以仰角喷出，气流速度增加导致局部压力降低，晶圆因上下压力差而被向上吸引。由于吸盘与晶圆之间始终存在一层气膜，两者并不直接接触，可降低传统真空吸盘因接触摩擦可能导致的晶圆表面划伤、颗粒附着和静电损伤风险。

【导电树脂材料，防止静电积聚】
本体采用导电性MC尼龙树脂，体积电阻值控制在较低水平，可有效将搬运过程中产生的静电及时导走。导向环采用防静电聚碳酸酯，透明材质便于操作者目视确认晶圆的定位和吸附状态。导向环内侧带有平缓锥度，与晶圆边缘为点接触，进一步减少接触面积和污染可能。

【多尺寸多角度适配】
BC-K系列覆盖2英寸至8英寸晶圆尺寸，每种尺寸对应独立型号。本体提供20度、45度、90度三种使用角度，用户可根据操作台面布局和手部姿态选择合适角度。导向环更换简便，同一本体通过更换不同尺寸的导向环即可适配多种晶圆规格。

技术规格参数表：

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