Fluoro福乐 导电PEEK晶圆真空吸嘴 ...

Fluoro福乐 导电PEEK晶圆真空吸嘴 C系列Y型

Fluoro福乐 导电PEEK晶圆真空吸嘴 C系列Y型 采用导电性PEEK材质,专为5至12英寸晶圆的真空镊子吸附搬运设计。Y型结构支持弯曲加工,用户可根据操作角度自行调整吸嘴弯曲形态。接头部采用统一的标准帽盖规格,便于在真空镊子本体上快速更换不同尺寸的吸嘴。机械加工后经热处理与镜面加工,长期使用仍保持稳定的吸附性能。

Fluoro福乐 导电PEEK晶圆真空吸嘴 C系列Y型
Fluoro福乐 导电PEEK晶圆真空吸嘴 C系列Y型

【导电性PEEK材质,防静电保护晶圆】
C系列采用导电性PEEK(聚醚醚酮)树脂制造。普通塑料吸嘴在搬运晶圆时,因摩擦产生的静电无法释放,积累到一定程度可能击穿晶圆上的微细电路。导电性PEEK的体积电阻率被控制在较低水平,可将静电通过吸嘴本体和真空镊子导走,保护芯片不受静电放电损伤。同时PEEK本身具有优异的耐热性、耐磨性和低颗粒释放特性,长期使用不易产生粉尘污染。

【Y型可弯曲,适应不同取放角度】
Y型吸嘴的*特色是支持弯曲加工。用户可根据实际工作台的高度、晶圆盒的深度和个人的手部操作惯,将吸嘴弯曲成合适的角度。弯曲后吸附面仍保持平整,不影响真空吸附的气密性。这一设计可提升手工搬运晶圆时的操作舒适度和工作效率。

【镜面加工,稳定吸附】
吸嘴吸附面经过镜面加工处理,表面粗糙度低。平整光滑的吸附面与晶圆紧密贴合,真空泄漏少,吸附力稳定。机械加工后进行热处理以消除内部应力,再经镜面抛光,确保长期使用中吸嘴不发生变形或尺寸变化。覆盖5英寸至12英寸晶圆,同系列内不同尺寸吸嘴使用统一帽盖接口,更换方便。

技术规格参数表:

参数项目规格说明
系列名称C系列Y型(真空镊子用晶圆吸附吸嘴)
材质导电性PEEK
适用晶圆尺寸5英寸 / 6英寸 / 8英寸 / 12英寸
弯曲加工
帽盖规格统一标准帽盖
加工工艺机械加工、热处理、镜面加工

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