Fluoro福乐 PEEK晶圆真空吸嘴 F系列XZ型
Fluoro福乐 PEEK晶圆真空吸嘴 F系列XZ型

【标准PEEK材质，经济实用】
F系列采用标准PEEK材质（非导电型），保留了PEEK的高耐热性、低释气性和优异的机械强度，但在防静电性能上不及C系列的导电性PEEK。对于不需要防静电措施的常规晶圆搬运场景，F系列提供了更具成本效益的选择。F系列X·Z型覆盖4至8英寸晶圆，多款型号对应不同尺寸和X·Z轴角度规格，用户可根据具体工位需求选型。

【X·Z双轴固定角度，精密重复定位】
与C系列X·Z型相同，F系列X·Z型提供X轴和Z轴的固定角度补偿。出厂时预设的固定角度在连续作业中保持每次取放的一致性，适合需要重复定位精度的工序。吸附面经镜面加工，与晶圆贴合平整，真空泄漏少。

【热处理加镜面加工，长期稳定】
与C系列共享同一制造工艺标准。机械加工后进行热处理消除内部应力，再经镜面抛光处理。长期使用中吸嘴不易发生变形或尺寸变化，保持稳定的吸附性能。统一帽盖接口方便在真空镊子本体上快速更换不同型号。

技术规格参数表：

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