eFLOW C 系列（Cabinet 柜式机型）是日本 DIC 迪爱生纯水防静电设备，依靠中空纤维透气膜向纯水定量溶解二氧化碳，*调控纯水电阻率，消除纯水静电，杜绝半导体清洗工序静电吸附粉尘、晶圆线路静电击穿。整机为落地柜体一体式设计，内置 CO₂气瓶安置空间，集成电阻率监测传感器，可直接对接现场管路，适合厂房集中湿法清洗制程。系列标准型号：1AC-P201、2AC-P201、3AC-P201

型号流量规格

1AC-P201：处理流量 1～16 L/min2AC-P201：处理流量 5～30 L/min3AC-P201：处理流量 10～50 L/min

核心特点

1、落地柜式集成结构，柜体可容纳 2 瓶 CO₂气瓶，无需额外独立气瓶放置区域，布局整洁；2、内置电阻率传感器，实时在线监测水质，电阻率调节稳定，长时间运行波动小；3、DIC 中空纤维 CO₂溶解模组，原厂 5 年使用寿命保障；4、管路分配结构，调节操作简单，设备零部件精简，故障率低，运维便捷；5、液接部件支持无金属构造方案，避免金属离子析出污染纯水；6、稳定控制电阻率区间 0.2～1.0 MΩ・cm，适配各类纯水清洗工艺。

工作原理

利用中空纤维透气膜，将二氧化碳渗透溶解进入纯水；CO₂与水反应生成微量碳酸离子，提升纯水导电能力，抑制静电蓄积，防止清洗过程晶圆、基板产生静电吸尘、静电损伤。

应用行业

半导体晶圆清洗、光刻掩模版清洗、LCD/OLED 面板湿法清洗、光学元件清洗、精密电子元器件纯水喷淋清洗、槽式清洗设备配套。