eFLOW P 系列（Panel 面板安装机型）是日本 DIC 迪爱生开发的紧凑型纯水防静电设备，采用中空纤维透气膜溶解二氧化碳，*调节纯水电阻率，消除纯水静电，避免晶圆、基板清洗时静电吸尘、静电损伤。小型面板嵌入式结构，体积小巧，无需独立占地，适配设备侧装、小型清洗机配套场景。代表型号：1AP-802

型号流量规格

1AP-802：处理流量 1～16 L/min

核心特点

1、紧凑型面板安装结构，可直接嵌入清洗设备机架，节省厂房空间；2、内置电阻率监测模块，实时监测水质，电阻率控制稳定；3、搭载 DIC 中空纤维 CO₂溶解模组，模组设计使用寿命 5 年；4、管路布局精简，调节便捷，长期运行参数波动小；5、液接材质可选无金属构造，避免金属离子析出污染纯水；6、控制电阻率区间 0.2～1.0 MΩ・cm；7、体积轻便，适合单台清洗槽、小型湿法设备配套。

工作原理

纯水通入中空纤维膜内侧，CO₂气体通过透气膜渗透溶解进水中；二氧化碳水解生成微量离子，提升纯水导电性，抑制静电积聚，防止清洗工件产生静电吸附粉尘、静电击穿。

基础规格

处理流量：1～16 L/min电阻率控制范围：0.2～1.0 MΩ・cm安装形式：面板嵌入式进水水温：20～30℃工作压力：0.1～0.3MPa

应用行业

半导体单片清洗设备、小型晶圆清洗机、光学元件清洗、实验室纯水处理、小型 LCD 面板清洗、精密零部件喷淋清洗。