玉崎科学仪器已到货：EBARA 荏原 AA100W 风冷干式螺杆真空泵
玉崎科学仪器（深圳）… >> 进入展台
2026-06-03 12:01:07
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我司新一批 EBARA 荏原 AA100W 风冷干式螺杆真空泵 已完成入库、检验、上架工作，目前库存充足，可正常接单、发货。
EBARA 荏原 AA100W 风冷干式螺杆真空泵｜产品全详情
荏原AA100W干泵整机
一、产品基础概述
：日本荏原 EBARA｜系列：AA 单级风冷螺杆干泵｜型号：AA100W
无油干式螺杆结构、全风冷无需冷却水，半导体 / 光伏 / 实验室通用中型干泵，替代油旋片泵，洁净无油蒸气污染。
工作原理
一对高精度螺旋转子无接触反向啮合，泵腔无润滑油密封，间隙精密控压；气体从入口吸入→转子容积压缩→直排大气，压缩热量靠机身散热 + 顶部风冷风扇散热。
二、核心技术参数
表格
| 参数项目 | 规格数值 |
|---|---|
| 标称抽速 (50Hz) | 100m³/h=1670L/min |
| 标称抽速 (60Hz) | 120m³/h=2000L/min |
| 极限真空 (空载) | ≤2.0Pa（2×10⁻²mbar） |
| 电机功率 | 2.2~3.0kW，三相 200/220V 50/60Hz |
| 冷却方式 | 强制风冷（整机无需外接冷却水） |
| 噪音 | 69~73dB(A) |
| 整机重量 | ≈115kg |
| 进气法兰 | DN40/DN50 标准真空法兰 |
| 排气 | 常压直排 |
三、机型细分选配版本
- AA100W（标准版）：铸铁泵体，常规惰性气体、洁净工艺
- AA100W-CR 耐腐蚀版：螺杆 / 泵体内壁耐酸碱涂层，适配微量腐蚀性工艺气体（蚀刻、CVD 尾气）
- AA100W-HT 高温型：泵体伴热，防粉体、溶剂冷凝结块
四、产品核心优势
- 全风冷免水冷：现场不用铺设水路，安装简单，节省配套成本
- 全干式无油：无回油污染，适配半导体洁净制程，优于油式真空泵
- 低维护：转子无摩擦损耗，日常仅更换空滤、密封件，保养周期 8000~10000h
- 自带电控面板：电流、泵温、故障报警、启停联锁，支持 PLC 远程触点控制
- 紧凑型机身：占地小，设备机台内置安装友好
五、主流应用领域
- 半导体行业：LoadLock 预抽、小型蚀刻机腔体粗抽、CVD 前级真空、离子注入辅抽
- 光伏 / LED：PECVD 镀膜粗抽、电池片边缘干法蚀刻
- FPD 面板：小型 OLED/LCD 溅射腔体预抽
- 科研仪器：SEM/TEM 电镜前级泵、质谱 / XPS 表面分析、实验室真空镀膜
- 通用工业：真空脱泡、真空封装、小型热处理炉抽真空
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项目负责人：林经理 ¹⁵⁸¹⁵⁵⁵⁰⁹⁹⁸
玉崎科学仪器（深圳）有限公司
2026年 06月 03日
