洁净真空动力高标准，ULVAC 爱发科 CR60B-S 多级罗茨干式真空泵

真空系统是镀膜、半导体、真空干燥、材料科研等制造与实验室制程的核心配套设备。传统油式真空泵极易出现油雾返流污染腔体、配套冷却水与氮气管路繁杂、长期运行维护成本高等痛点，难以适配当下洁净化、节能化、轻量化的工艺需求。近期，企业引入 ULVAC 爱发科 CR60B-S 多级罗茨干式真空泵，扩充洁净干式真空设备产品线，为光学镀膜、电子制造、药剂烘干、材料实验等场景提供稳定、低运维、高洁净的真空抽取解决方案，补齐中大型腔体粗抽、维持真空设备配套短板。

CR60B-S 作为 ULVAC CR Ver.B 系列标准风冷机型，依托多级罗茨无油干式结构设计，从根源解决油污污染难题。泵体排气腔内部不填充真空润滑油脂，转子与气缸采用非接触式运转结构，无摩擦损耗，可支持 24 小时不间断量产稳定运行。整机采用纯风冷设计，无需外接冷却水与吹扫氮气，大幅简化现场管路布局，降低基建配套投入，适配机柜嵌入式、狭小设备机房、移动实验平台等多种安装环境。设备搭载 DC 密封节能电机，整机轻量化至 48kg，搭配内置消音结构，运行噪音与振动更低，改善车间作业环境。

在核心性能层面，CR60B-S 在 50Hz 工况下*抽速可达 55m³/h（920L/min），无气镇状态下极限真空≤3.0Pa，可直接从大气压快速抽气，无需额外搭配前级泵，缩短腔体抽空等待时间，提升产线流转效率。设备可选配气镇机构，*可处理 500g/h 水蒸气，适配真空干燥、含水药剂烘干、含水试样脱气等含水蒸气工艺，避免水汽在泵腔凝结造成真空度衰减、内部锈蚀等问题。产品通过 CE、cTUVus 国际安全，单相 200V 供电适配国内常规供电标准，KF40 标准化进出气法兰，便于与镀膜机、干燥箱、等离子清洗设备快速对接配套。

该款真空泵适配多行业洁净真空工艺场景。镀膜行业可作为溅射、光学蒸镀设备粗抽与维持泵，杜绝油雾污染膜层，保障镀膜成品良率；半导体、FPD 电子制造领域，用于等离子清洗、晶圆脱气、小型器件真空检漏；医药、精细化工行业搭配气镇完成药剂、粉体低温真空干燥；高校与科研实验室适配薄膜沉积、惰性气体置换、材料表征试样前处理等实验工况。

依托稳定进口供应链，全系 ULVAC CR 系列干式真空泵现货供应，CR60B-S 标准款可支持小批量试样采购与产线大批量配套订单交付，配套原厂说明书、完整技术参数、产品合规文件，方便企业设备入库与体系审核。*技术团队可根据腔体容积、工艺气体、水蒸气含量、安装空间等工况，提供真空泵选型、管路配套、气镇使用调试全流程技术指导，规避选型不当造成的真空不足、水汽腐蚀、能耗过高等问题。

未来，企业将持续扩充 ULVAC 全系列干式真空泵、真空计、真空阀门等真空配套产品，夯实洁净真空设备一站式配套服务能力。以原装*货源、*选型技术服务、稳定交付周期，赋能镀膜、半导体、新能源、医药、科研实验室各行业真空制程提质、降本、增效，助力制造工艺洁净化、智能化升级。

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