详细介绍: |
CARL ZEISS CONTURA G2 旋转式探头三次元特点 一、机械结构 (a) X、Z 轴皆采用精密陶瓷材质特性如下: 杨氏系数高,所以刚性强,不易变形,可以保持X、Z 轴直线度。 低膨胀系数,可以减少热传导产生的结构扭曲,提高量测精度。 重量轻,可降低动态的惯性,增加量测速度,保持三轴直角度。 硬度高,不易扭曲变形,可长久保持X,Z 直线度,直角度。 (b) 采用ZEISS 预载式空气轴承,可使龙门与平台间隙永远保持4-6μm,维持高精度量测。 (c) Y 轴采包覆式空气轴承,可降低动态量测惯性,提高三轴直角度。 (d) Z 轴采免调整盒型空气轴承,气源不足时,Z 轴具自动锁定功能。 (e) 气囊式探头重量平衡系统。 (f) 摇控操作盘采双轴同动操控,并具可逆键,操作简便快速。 (g) 采用ZEISS光学尺,分辨率0.2μm 二、的精度 (a)精度是在CMM 三轴大移动速度下获得(V=520 mm/s) (b) MPE_E=2.2+L/300 μm (c) 精度即使是在远离三轴光学尺远的平台左下方,亦即理论上空间精度差的地方,也能满足所标示的数值。 采用ZEISS 第四代控制箱,内部具备: (a) 取点方式:除三个机械开关外,另有感应晶体,以进行高精度量测。 (b) 探测力量:<0.01 Nm (c) 可接长延长杆长度:300 mm (d) 可旋转角度:每2.5° (e) 旋转方向: 水平方向:±180° (f) 使用20 mm探针时,量测重现性<0.5 μm (g) 角度精度控制: 光学度盘 (h) 角度精度: 1 |