高过滤精度

在亚微米 LSI 制造工艺中，必须将原料气体以高纯度状态输送至使用点。为此，除了实现原料气体的高纯度化之外，管路系统的洁净化也是关键重点。 日本 PURERON（普瑞伦）为顺应这一时代需求，开发出滤芯元件采用陶瓷材质的全新过滤器。*终实现稳定可达0.003μm / 0.0015μm的高过滤精度。