SGC-10薄膜测厚仪
有
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名称 | 参数 |
厚度范围 | 20nm-50um(只测膜厚), 100nm-10um(同时测量膜厚和光学常数n,k) 根据薄膜材料的种类,其范围有所不同。 |
准确性 | <1nm或<0.5% |
重复性 | 0.1nm |
波长范围 | 380nm-1000nm |
可测层数 | 1-4层 |
样品尺寸 | 样品镀膜区直径>1.2mm |
测量速度 | 5s-60s |
光斑直径 | 1.2mm-10mm可调 |
样品台 | 290mm*160mm |
光源 | 长寿命溴钨灯(2000h) |
光纤 | 纯石英宽光谱光纤 |
探测器 | 进口光纤光谱仪 |
电源 | AC100V-240V,50HZ-60HZ |