氦质谱检漏仪

ZLS-24C氦质谱检漏仪性能指标：

  型   号            小可检漏率Pa.m3/s

  ZLS-23B                 2·10-11
  ZLS-24B                 2·10-11
  ZLS-24C                 2·10-11 
 ZLS-26D/T                5·10-12

  型   号              反应（清除）时间 s

  ZLS-23B                    ＜3
  ZLS-24B                   ＜3
  ZLS-24C                   ＜3
 ZLS-26D/T                ＜3

  型   号                  读数方式

  ZLS-23B                 表头（mV）
  ZLS-24B         表头和数字（量程自动切换）
  ZLS-24C         表头和数字（量程自动切换）
 ZLS-26D/T                 数字直读

  型   号                  特    点

  ZLS-23B             单主机，带标准漏空
  ZLS-24B      带一套粗抽系统（泵2XZ-4B），配有一只校准漏孔
  ZLS-24C      带二套粗抽系统，适用于批量检漏，配有一只校准漏孔
 ZLS-26D/T     涡轮分子泵（德国莱宝50型）前级泵（日本GLD030）粗抽泵（英国
EDWARDERV12），配有一只校准漏孔