BMT700研究型硅片显微镜
一、用途:
BMT700研究型硅片显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有无限物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器.
二、技术参数
1.目镜
类 别
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放大倍数
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视场(mm)
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大视野目镜
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10X
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φ22
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2.物镜
类 型
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放大倍数
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数值孔径NA
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工作距离(mm)
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无限远长工作距离平场消色差物镜
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5X
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0.12
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26.1
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10X
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0.25
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20.2
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40X
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0.60
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3.98
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60X
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0.70
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3.18
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3.光学放大倍数:50X -- 600X 系统参考放大倍数:50X-3500X
4.滤色片组:黄色、蓝色、绿色、磨砂玻璃
5.偏光装置:可插入式起偏振片和三目头内置检偏振片
6.载物台:二层机械移动式:尺寸:210mmX140mm,移动范围:75mmX50mm
7.粗微同轴调焦机构,微动手轮格值:0.002mm
8.落射照明器:卤素灯,亮度可调;透射光源6V30W卤素灯,加装散热片。
9.防霉:特有的防霉系统
三、系统组成
1、显微镜 2、适配镜 3、500万高像素摄像头 4、计算机(选配)
四、放大参考倍数
BMT700研究型硅片显微镜:50--4000倍 (17寸显示器为例)
五、选购件
1.二维测量软件 2.目镜: 20X 10X(带刻度)
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