深冷泵

Water Vapor Cryochiller

水汽捕集泵（Water Vapor Cryochiller）， 主要用于辅助抽真空以及改善真空质量, 在真空度 1 至 10-6 Pa 之间捕集真空腔内水汽和油分子, 提升产品的产能和成膜质量.。