| 型 号 | ScopeCheck300/200/200(精密型) | ScopeCheck300/200/200(标准型) |
| 测量范围 | (X轴) | 300mm（400mm可选） | 300mm（400mm可选） |
| | (Y轴) | 200mm | 200mm |
| (Z轴) | 200mm | 200mm |
| 大允许测量误差1 ) | (E1单轴精度） | (1.0+L(mm)/200)µm | (1.2+L(mm)/200)µm |
| | (E2平面精度） | (1.8+L(mm)/150)µm | (2.0+L(mm)/150)µm |
| (E3空间精度） | (3.5+L(mm)/100)µm | (3.9+L(mm)/100)µm |
| 分辨率 | 0.1µm | 0.1µm |
| 工作距离 | 50mm（80mm选配） | 50mm |
| 工作台承重 | 30kg（更大可选） | 30kg（更大可选） |
| 定位速度 | 200mm/s2 | 200mm/s2 |
| 加速度 | 350mm/s2 | 350mm/s2 |
| 仪器重量 | 380kg/480kg | 380kg/480kg |
| 1)精度保证环境条件 | 20℃±1℃ Δ=0.5℃/h | 20℃±1℃ Δ=0.5℃/h |
| 精度光学放大倍率 | 5X | 5X |
可选配Werth Zoom高放大倍率(0.68-6.8X或1-10X)，大工作距离(80mm标准或20mm-220mm可变)十级自动变焦系统，更高测量精度可选
依据标准 ISO 10360 和 VDI/VDE 2617
