SUSS光刻机用曝光灯
SUSS光刻机用曝光灯的技术参数....
SUSS MicroTecv美国苏斯公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机，目前得到业界的广泛认同，该系列光刻机曝光系统的曝光灯，主要是由德国欧司朗公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗曝光灯系列，具体良好的光通量，稳定的光强度以及的品质受到业界的青睐。目前给苏斯光刻机配套的相关参数如下：
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HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography. |
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Lamps for SÜSS Equipment |
Lamp type |
Max life[h] |
Equipment(适用机型） |
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HBO 200W/DC |
1000 |
MJB3 |
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HBO 350W/S |
600 |
MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500 |
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HBO 1000W/D |
1000 |
MA150,MA200,MA4,MA6,MA8 |
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HBO 5000W/S |
1000 |
MA300 |
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以下是欧司朗曝光灯的技术参数：
如果有需要suss 苏斯光刻机用欧司朗系列曝光灯的客户，请与我们公司联系，我们全线代理德国欧司朗曝光灯，原装进口，品质保证，交货及时.
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