SCS 770066静电事件监测仪

通道一：实时监测静电放电事件（放电次数和放电强度）

根据静电放电（ESD）特征信号识别静电放电事件，剔除其他EMI干扰信号

静电放电强度阀值：60～140dBμV

仪器仅显示放电次数和强度，配套SMP软件可计算出CDM模型的放电电压

通道二：实时监测天线感应到的静电压

感应电位阀值：40V、12.5V、100V、250V、500V、1000V可设置

通道三：实时监测离子风机的性能

每隔3分钟自动检测离子风机的散电时间和离子平衡度

离子平衡度阀值0~35V可设置，散电测试电压+/-5V，散电时间*量程16秒

监测离子风机时，距离较近或空间狭窄时采用蝶形探头，距离较远时采用柱形探头

可单台使用，也可多台通过局域网组网监测

*组网容量1000台

配套SMP软件，C/S架构，网页版客户端，获取、分析、保存、导出数据

可以导入真实的产线平面图，标识各个监测仪安装地点，动态显示实时状况

客户端根据静电放电信号强度和探测距离自动计算出CDM模型的静电放电电压值

可分配及授权多位用户（无数量限制）