特点：· 通用安装设计：采用标准外观，支持滑轨安装，方便集成到现有监测系统机柜中。
· 操作便捷友好：配备完善的控制系统，操作界面直观，便于用户进行设置与操作。
· 高性能表现：反应快速、重复性高、精度高，同时支持根据客户的具体需求进行定制。
参数：
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模块 |
参数项 |
指标说明 |
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气体稀释 |
质量流量测量精密度 |
读数的 ±2% 或满量程的 1%（取较大者，适用范围：满量程的 20~*） |
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质量流量测量线性度 |
满量程的 0.5% |
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质量流量测量重现性 |
读数的 ±2% 或满量程的 1%（取较大者，适用范围：满量程的 20~*） |
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量程 |
零气 |
5, 10, 15, 20 slpm |
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标气 |
25, 50, 100, 500 sccm |
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稀释比 |
取决于选择的质量流量控制器 |
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臭氧发生器 |
臭氧输出 |
6 ppm/L |
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光度计 |
预置量程 |
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0, 5.0 ppm |
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定制量程 |
0.05–5.0 ppm |
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零噪声 |
0.75 ppb（300 秒平均时间） |
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*低检测限 |
1.5 ppb（300 秒平均时间） |
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响应时间（控制模式） |
<180 秒 |
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线性度 |
满量程的 ±1% |
