二、产品结构与细分型号对应

1. 短颈搭接接头（V-KF-NP）

• 外观：单侧短颈 KF 翻边，筒身极短

• 用途：微型设备机箱内部狭小空间管路搭接，适配台式干式泵、小型检测仪器

2. 标准直通搭接接头（V-KF-S）

• 外观：两端标准 KF 翻边法兰，等径直筒

• 用途：通用真空管路等规格对接，搭配 V-KF-CL 卡箍、V-KF-P 垫圈实现快速密封

3. 加长型搭接接头（V-KF-L）

• 外观：加长直筒筒体，两端标准 KF 法兰

• 用途：长距离真空直管搭接，补偿管路大温差热位移

4. 带底座安装搭接接头（图右下角款）

• 外观：方形固定底座 + KF 法兰一体结构，预留设备安装孔

• 用途：真空腔体面板固定、泵体法兰外置安装，无需额外支架

5. 中心定位密封垫圈（V-KF-P）

• 外观：金属内环 + 弹性密封外圈环形件

• 用途：两片 KF 搭接接头之间定心密封，校正同心度，降低系统漏率

6. KF 盲法兰（V-KF-B）

• 外观：实心无通孔 KF 法兰

• 用途：封堵搭接接头预留端口，实现管路分段隔离

三、基础通用参数

1. ：NFK 南国工业

2. 适配通径：KF10 / KF16 / KF25 / KF40 / KF50

3. 材质：

• 主体：SUS304（通用）、SUS316L（低析出洁净款）

• 密封件：FKM 氟橡胶 (-15~150℃)、Silicone 硅胶 (-40~200℃)、无氧铜金属圈 (-40~450℃)

4. 真空漏率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s（单件氦检）

5. 耐受工况：高负压真空～0.1MPa 正压

6. 适配介质：干燥氮气、氩气、中性洁净工艺尾气（禁止强酸、卤素腐蚀介质）

四、核心产品优势

1. 一体车削无焊缝，低漏率整体数控车削成型，无焊接缝隙，避免焊缝微漏，满足半导体高真空制程洁净要求。

2. 标准 KF 快装结构，搭接灵活法兰 360° 自由旋转，搭配 V-KF-CL 蝶形卡箍徒手拆装，管路搭接无需焊接，改造、检修效率大幅提升。

3. 多规格结构全覆盖，适配各类搭接场景短颈 / 标准 / 加长 / 带底座多款式可选，可实现设备内部、高架管路、腔体面板多场景无缝搭接，无需非制。

4. 低析出镜面内壁内外壁电解抛光，无金属粉尘、离子析出，不会污染晶圆、光学检测样品，符合无尘车间标准。

5. 多温区密封方案根据烘烤温度、介质温度自由选配密封垫圈，覆盖常温、中温、高温烘烤全温域真空工况。

五、核心功能

1. 实现不同长度、不同安装位置 KF 真空管路之间的快速搭接对接；

2. 校正管路装配微小偏心，搭配中心垫圈维持法兰同心密封；

3. 拓展腔体、真空泵预留接口，可搭配盲法兰临时封堵，或搭配波纹管吸收振动与热位移；

4. 高低压双向密封，隔绝外界空气吸入，稳定维持腔体负压真空度。

六、典型应用场景

1. 半导体 / 光伏：刻蚀机、扩散炉、镀膜机 KF 真空管路长短段搭接、腔体面板固定转接；

2. 科研实验室：真空热台、检漏仪器、样品检测腔体微型管路对接；

3. 精密光学：薄膜沉积设备、电子束设备高架真空管路搭接段；

4. 自动化设备：干式真空泵、氮气循环负压管路机箱内部狭小空间转接。

七、使用注意事项

1. 腐蚀特气工况（酸碱、卤素）需选用内衬 PTFE 定制搭接接头；

2. 安装前清理法兰密封面，无划痕、油污、粉尘，否则会造成系统漏率标；

3. 高温烘烤腔体必须搭配无氧铜金属密封垫圈，橡胶密封件使用温度不过 200℃；

4. 卡箍对称均匀锁紧，避免单边受力导致密封偏心漏气。