Fluoro福乐 薄晶圆伯努利非接触吸盘 BC-K300系列
Fluoro福乐 薄晶圆伯努利非接触吸盘 BC-K300系列

【专为薄晶圆设计，应对变形挑战】
晶圆减薄至300微米以下后，机械强度明显下降，容易翘曲和碎裂。传统接触式真空吸盘在吸附薄晶圆时，局部负压可能导致晶圆产生微小变形甚至破裂。BC-K300系列通过优化喷气孔的分布和角度，在薄晶圆与吸盘之间形成更均匀的气膜支撑，降低了搬运过程中的弯曲应力，使薄晶圆能以非接触方式被稳定拾取。

【大尺寸对应，覆盖12英寸晶圆】
BC-K300系列覆盖6英寸、8英寸及12英寸晶圆尺寸。随着晶圆尺寸增大，薄晶圆的翘曲程度也更明显，对搬运工具的气流均匀性要求更高。12英寸规格供气压力为0.4 MPa，较常规型号有所提高，以产生足够的气膜面积来覆盖大面积薄晶圆。

技术规格参数表：

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