MIYUKI 美幸辉 G‑N63｜KF63 快装气动伺服真空控制蝶阀（气源驱动闭环）

原装现货供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司

负责人：林经理 ¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸

*：www.shashinkagaku.com

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型号：G‑N63，KF63 (NW63) 快卸法兰气动伺服调节蝶阀

G 系列小口径气源驱动伺服调节阀，无需伺服电机供电，0‑90° 全行程无级开度调节；采用通用 KF 快拆法兰，拆装维护便捷，阀体小巧紧凑，主打小型腔体、高校实验室、研发样机精密真空闭环调压，广泛用于小型 PVD、等离子实验腔体、材料科研、分析仪器真空管路。

型号释义

可定制更换法兰：JIS、ISO‑F、CF 刀口法兰；密封可选 Kalrez 全氟醚抗等离子腐蚀密封。

驱动：纯气动伺服机构，无电机

0.4‑0.6 MPa 洁净干燥无油压缩空气驱动；内置阀位反馈电位器输出阀位信号，外接MGCS‑11 真空压力控制器组建 PID 闭环系统，自动调整蝶板开度稳定腔体工艺压力。
安全机制：单作用弹簧复位，失气自动全关

气源丢失弹簧强制关闭阀门，隔离泵组与腔体，防止大气倒灌污染样品；无电磁抱闸，失气直接全关，不能维持当前开度。
紧凑小型阀体，KF 快装接口

体积小巧，占用设备空间小；KF 快卸法兰，拆装无需大量螺栓，检修、更换管路便捷；无流向限制，水平、垂直、倾斜任意角度均可安装。
球面多点双向压紧密封

正向、反向压差工况均可保持低泄漏；启闭摩擦小，低发尘，适配科研洁净实验工况。
出厂检测：百级洁净室装配，逐台氦质谱检漏。

表格

项目	G‑N63 KF63 参数
公称通径	KF63（NW63）快卸法兰
压力工作区间	1×10⁵Pa（常压）～1×10⁻⁶Pa 高真空
泄漏率	阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，氦检出厂
驱动气源	0.4‑0.6 MPa，干燥洁净无油压缩空气；弹簧复位失气关闭
开度调节	0‑90° 连续无级调节；阀位反馈输出，对接 MGCS‑11 闭环控制
过流材质	阀体、蝶板 SUS304，内腔电解抛光 EP，低放气低颗粒析出
标准密封	FKM 氟橡胶，‑25～120℃；可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封抗等离子腐蚀
烘烤温度	FKM 密封* 120℃；Kalrez 版本* 150℃
机械寿命	≥100 万次循环
电气选配	微动开关输出全开 / 全关信号；阀位反馈信号输出
配套控制器	MGCS‑11（主力）、MG‑mini485 嵌入式控制器

高校、科研所实验真空腔体

材料真空处理、等离子实验、小型镀膜样机；KF 快拆法兰方便腔体拆装改造，只需要接入压缩空气，不用布置电机供电线路，实验室设备改造友好。
小型 PVD、小型等离子清洗、研发型 ICP 样机

中小腔体排气节流，搭配 MGCS‑11 + 电容薄膜规 PID 闭环，稳定工艺等离子压力。

⚠️8/12 寸半导体量产产线，要求断电保持阀位，优先选用BAR‑N63 电动伺服带抱闸型号；G‑N63 气源驱动更适合研发样机、实验室设备。

系统组成：G‑N63 气动伺服蝶阀 + MGCS‑11 真空压力控制器 + 电容薄膜真空规

工作流程：真空规采集腔体压力 → MGCS‑11 执行 PID 运算 →输出气控驱动信号调整 G‑N63 蝶板开度 →动态补偿泵抽、进气扰动，锁定工艺压力。

MGCS‑11 支持 7 组 PID 参数存储，不同工艺工序自动切换，RS485 通讯对接上位 PLC。

表格

供货状态：G‑N63 属于 G 系列小口径流通型号，常备部分原装现货；CF 法兰、Kalrez 密封定制款日本原厂订货；可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书。
选型避坑：不可与开关蝶阀 B‑N63 混淆；B‑N63 仅开关功能，无开度调节，不能做闭环压力控制。

提示：市场存在翻新二手阀，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。