MIYUKI 美幸辉 G‑C80｜CF80 高真空气动伺服真空控制蝶阀（气源驱动闭环）

原装现货供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司

负责人：林经理 ¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸

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型号：G‑C80，CF80（DN80）刀口法兰气动伺服调节蝶阀

G 系列高真空气源驱动伺服调节阀，无伺服电机，纯压缩空气驱动，0‑90° 全行程无级开度调节；采用 CF 刀口金属密封法兰，支持腔体高温烘烤除气，低放气、低泄漏，主要用于科研高真空系统、分子泵前端管路、小型高真空腔体精密压力闭环调压，适配分子束外延、表面分析、科研样机等高要求工况。

型号释义

可定制变更法兰：JIS、ISO‑F、KF；密封可选 Kalrez 全氟醚，适配等离子、腐蚀工艺气体。

驱动：纯气动伺服机构，无电机

0.4‑0.6 MPa 洁净干燥无油压缩空气驱动；内置阀位反馈电位器输出阀位信号，外接MGCS‑11 真空压力控制器组建 PID 闭环系统，自动调整蝶板开度稳定高真空腔体工艺压力。
安全机制：单作用弹簧复位，失气自动全关

气源丢失弹簧强制关闭阀门，隔离腔体与分子泵，防止大气倒灌污染高真空腔体内部样品；无电磁抱闸，失气直接全关，不能维持当前开度。
CF 刀口法兰，支持高温烘烤除气

CF 刀口法兰配无氧铜金属密封垫圈，阀体部分允许烘烤除气；注意：气动执行器气缸部分不可烘烤，烘烤时需隔离执行机构，适合科研高真空系统除气需求。
球面多点双向压紧密封

正向、反向压差均可维持高真空等级低泄漏；启闭摩擦小，低发尘、低放气，适配高真空洁净科研工况。
出厂检测：百级洁净室装配，逐台氦质谱检漏。

表格

项目	G‑C80 CF80 参数
公称通径	CF80（DN80）刀口法兰，无氧铜垫片密封
压力工作区间	1×10⁵Pa（常压）～1×10⁻⁷Pa 高真空
泄漏率	阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，氦检出厂
驱动气源	0.4‑0.6 MPa，干燥洁净无油压缩空气；弹簧复位失气关闭
开度调节	0‑90° 连续无级调节；阀位反馈输出，对接 MGCS‑11 闭环控制
过流材质	阀体、蝶板 SUS304，内腔镜面电解抛光 EP，极低放气低颗粒析出
标准密封	FKM 氟橡胶，‑25～120℃；可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封抗等离子腐蚀
烘烤温度	阀体* 150℃烘烤除气；气动气缸执行器环境温度≤50℃，禁止烘烤气缸
机械寿命	≥100 万次循环
电气选配	微动开关输出全开 / 全关信号；阀位反馈信号输出
配套控制器	MGCS‑11（主力）、MG‑mini485 嵌入式控制器

科研高真空腔体、分子束外延 MBE、表面物理实验平台

CF 法兰原生适配高真空系统，阀体可烘烤除气，搭配 MGCS‑11 实现高真空区间精密闭环调压；仅需气源，无需电机布线，科研设备改造友好。
分子泵前端节流调压（分子泵泵口管路）

安装于分子泵与工艺腔体之间，动态调节流导，稳定腔体工艺压力；气源故障弹簧自动关闭，保护分子泵避免大气冲击损坏。

⚠️分子泵不可承受大气压，系统必须做好整机联锁保护。

⚠️8/12 寸半导体量产产线，需要断电保持阀位，优先选用BAR‑C80 电动伺服带抱闸型号；G‑C80 气源驱动更适合高校科研、实验室样机。

系统组成：G‑C80 气动伺服蝶阀 + MGCS‑11 真空压力控制器 + 电容薄膜真空规 / 电离真空计

工作流程：真空规采集腔体压力 → MGCS‑11 执行 PID 运算 →输出气控驱动信号调整 G‑C80 蝶板开度 →动态补偿泵抽、进气扰动，锁定工艺压力。

MGCS‑11 支持 7 组 PID 参数存储，RS485 通讯对接上位 PLC。

表格

提示：市场存在翻新二手阀，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。