MIYUKI美幸辉GAR‑I160B ISO‑F DN160 电动伺服闸板式真空调节大流量低放尘

MIYUKI 美幸辉 GAR‑I160B｜ISO‑F DN160 电动伺服闸板式真空调节阀（大流量、低放尘）

原装现货供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司
负责人：林经理 ¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸ 
*：www.shashinkagaku.com
地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层
型号：GAR‑I160B，ISO‑F DN160（160A）电动伺服闸板式调节阀
GAR 系列量产级闸板式伺服阀，DC24V 伺服电机直驱，‑B 内置电磁抱闸断电锁止阀位，0‑* 全行程连续无级开度调节；闸板全开完全退出气流通道，大通流、低放气、低发尘，采用国际通用 ISO‑F 法兰，适配欧美系真空管路，面向半导体刻蚀、PVD/CVD 镀膜、面板、大型中试腔体主抽管路闭环稳压。

型号释义

  • GAR：升降闸板式电动伺服调节阀，闸板全开脱离流道，低颗粒，调压性能优于 BAR 蝶板式
  • I：ISO‑F 国际标准真空法兰
  • 160：公称通径 DN160（160A）
  • B：内置电磁抱闸刹车，断电锁止当前阀位，不会直接全关，规避基板、晶圆批量报废风险
可定制：JIS、CF 刀口法兰；‑K 后缀升级 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封适配等离子腐蚀工况。

结构与工作原理

  1. 伺服直驱闸板式结构，零背隙
    伺服电机直驱升降闸板，无齿轮传动间隙；全开闸板完全撤离流道，流阻极低；取消金属滑动摩擦副，*限度降低颗粒生成，满足 SEMI 洁净制程；微小开度调节稳定性优异，阀位重复定位精度高。
  2. ‑B 电磁抱闸断电锁止（核心安全特性）
    断电瞬间电磁刹车锁死闸板，保持断电前原有开度，不会直接关闭管路，避免工艺压力突变造成基板不良；可按需定制断电强制全关版本，适配产线联锁逻辑。
  3. 信号接口：0‑10V /4‑20mA 模拟量、阀位反馈输出、RS485 通讯；搭配MGCS‑11 真空压力控制器组成 PID 闭环控制系统。
  4. 装配检测：百级洁净室组装，每台氦质谱检漏出厂；无流向限制，水平、垂直任意角度可安装。
⚠️注意：阀体支持烘烤除气；伺服电机驱动头部环境温度≤40℃，严禁烘烤电机组件。

完整技术参数

表格
项目 GAR‑I160B ISO‑F DN160 参数
公称通径 DN160（160A），ISO‑F 法兰
工作压力区间 1×10⁵Pa（常压）～1×10⁻⁶Pa 高真空
泄漏率 阀座内漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s；轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，氦检出厂
驱动供电 DC24V 伺服电机直驱，‑B 电磁抱闸断电锁止阀位
开度调节 0‑* 全行程连续无级调节，阀位反馈输出
过流材质 阀体、闸板 SUS304，内腔镜面电解抛光 EP，低放气、低颗粒析出
标准密封 FKM 氟橡胶，‑25～120℃；可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚抗等离子腐蚀密封
烘烤温度 阀体* 150℃；伺服电机头部≤40℃，不可烘烤
机械寿命 ≥100 万次循环，低震动低噪音
电气信号 0‑10V/4‑20mA 模拟量；RS485 通讯；全开全关到位信号输出
配套控制器 MGCS‑11、MG‑mini485、MS‑VP

典型应用场景（大流量、低放尘）

  1. 半导体、面板 PVD 磁控溅射、CVD 腔体主抽调压
    搭配 MGCS‑11 + 电容薄膜规 PID 闭环，稳定溅射工艺压力；断电抱闸锁止阀位，杜绝断电压力波动导致基板不良；闸板式低颗粒结构，保障薄膜均匀性，减少针孔、色差缺陷。
  2. 半导体中试刻蚀、离子注入腔体
    中等大流量排气工况，工艺不允许失电直接切断管路，需要断电保持阀位安全机制。
  3. 光伏大面积镀膜、大型科研真空样机
    ISO‑F 法兰匹配国内、欧美设备管路标准，大通流兼顾精密调压；适配材料处理、电子束蒸发设备。
选型边界：
  • GAR‑I160B（电动闸板‑B 抱闸）：半导体、面板量产 / 中试产线，断电需保持阀位优先选用；
  • G‑I160（气动伺服蝶阀）：锂电、光伏、普通工业镀膜，气源充足，允许失气弹簧全关，成本更优。

标准闭环控制成套方案

系统组成：GAR‑I160B 电动伺服闸阀 + MGCS‑11 真空压力控制器 + 电容薄膜真空规
工作流程：真空规采集腔体压力 → MGCS‑11 执行 PID 运算 →输出控制信号驱动 GAR‑I160B 伺服电机调整闸板开度 →动态补偿进气、泵抽扰动，锁定工艺压力。
MGCS‑11 支持 7 组 PID 参数存储，RS485 对接上位 PLC，适配自动化产线流程。

选型区分（GAR‑I160B VS G‑I160）

表格
项目 GAR‑I160B（电动伺服闸板） G‑I160（气动伺服蝶阀）
驱动 DC24V 伺服电机直驱，‑B 电磁抱闸 0.4‑0.6MPa 压缩空气驱动，无电机
断电 / 失气状态 断电抱闸保持当前开度 失气弹簧直接全关，开度丢失
结构 闸板式，全开闸板退出流道，极低发尘颗粒 蝶板式，蝶板滞留流道内
适用定位 半导体、面板量产 / 中试产线 锂电、光伏、普通工业镀膜设备
布线 需要 DC24V 供电 + 信号线缆 仅需压缩空气气源

供货与选型提示

  1. 供货状态：GAR‑I160B 属于中口径特种伺服阀，国内现货少，日本原厂订货；可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书；支持 Kalrez 密封定制。
  2. 选型避坑：不可与开关闸阀 GH‑I160 混淆；GH‑I160 仅开关功能，无开度调节，无法实现闭环压力控制。
提示：市场存在翻新二手阀，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。
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