MIYUKI 美幸辉 BAR‑J100 JIS DN100 经济型电动伺服蝶阀镀膜 /锂电常规工

MIYUKI 美幸辉 BAR‑J100｜JIS DN100 经济型电动伺服蝶阀（镀膜 / 锂电常规工艺）

原装现货供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司
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型号：BAR‑J100，JIS DN100（100A）电动伺服蝶阀，可选型‑B 带电磁抱闸版本
BAR 系列经济型伺服蝶阀，DC24V 伺服电机直驱，蝶板式结构，高，0‑90° 全行程无级开度调节；相比 GAR 闸阀成本更低，适合工业 PVD 镀膜、锂电脱气、中试等离子腔体常规压力闭环控制，兼顾调压性能与设备成本，广泛用于非*颗粒要求的量产设备。

型号释义

  • BAR：蝶板式电动伺服真空调节阀（经济型，蝶板置于流道内；对比 GAR 升降闸板式）
  • J：JIS B2290 日标法兰
  • 100：公称通径 DN100（100A）
  • ‑B（可选）：选配电磁抱闸，断电锁止阀位；标准款无抱闸，断电阀位自由浮动
可定制：ISO‑F、KF、CF 刀口法兰；密封可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚适配等离子腐蚀工况。

结构与工作原理

  1. 伺服直驱蝶板式结构
    DC24V 伺服电机直驱蝶板，无齿轮间隙，0‑90° 角度连续可调；蝶板始终处于气流通道内部；结构紧凑，整机体积小，成本优于 GAR 闸阀系列；减少滑动摩擦部件，颗粒控制满足工业常规工艺，不及 GAR 闸板等级。
  2. 抱闸选项说明
  • 标准 BAR‑J100：无电磁抱闸，断电阀位自由浮动，不锁止；
  • BAR‑J100‑B：选配内置电磁抱闸，断电锁止当前开度，防止压力突变，适合不能允许阀位漂移的产线。
  1. 信号接口：0‑10V /4‑20mA 模拟量、阀位反馈输出、RS485 通讯；搭配MGCS‑11 真空控制器组成 PID 闭环压力控制系统。
  2. 装配检测：百级洁净室装配，逐台氦质谱检漏出厂；无流向限制，水平、垂直任意角度可安装。
⚠️阀体支持烘烤除气；伺服电机头部环境温度≤40℃，严禁烘烤电机组件。

完整技术参数

表格
项目 BAR‑J100 JIS DN100 参数
公称通径 DN100（100A），JIS B2290 法兰
压力工作区间 1×10⁵Pa（常压）～1×10⁻⁵Pa 高真空
泄漏率 阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，氦检出厂
驱动供电 DC24V 伺服电机直驱；‑B 版本带电磁抱闸断电锁阀位
开度调节 0‑90° 连续无级角度调节，阀位反馈信号输出
过流材质 阀体、蝶板 SUS304，内腔电解抛光 EP
标准密封 FKM 氟橡胶，‑25～120℃；可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚抗等离子腐蚀密封
烘烤温度 阀体* 150℃；伺服电机头部≤40℃，不可烘烤
机械寿命 ≥100 万次循环，低震动低噪音
电气信号 0‑10V/4‑20mA 模拟量；RS485 通讯；全开全关到位信号输出
配套控制器 MGCS‑11、MG‑mini485、MS‑VP

典型应用场景（镀膜 / 锂电常规工艺）

  1. 工业 PVD 磁控溅射、光学镀膜腔体
    搭配 MGCS‑11 + 电容薄膜规 PID 闭环，稳定常规镀膜工艺压力；适合面板、普通光学镀膜，对颗粒要求不是*严苛的工况；相比 GAR 闸阀，降低设备采购成本。
⚠️8/12 寸半导体*制程量产，极低颗粒要求，优先选用GAR‑J100B 闸板式伺服阀。
  1. 锂电真空脱气、锂电烘烤量产腔体
    中等腔体排气节流调压，稳定真空工艺压力；选配‑B 抱闸版本，断电锁止阀位，保护锂电极片避免大气倒灌氧化。
  2. 中试等离子清洗、研发样机、材料真空处理设备
    中小腔体闭环调压，设备预算有限，追求伺服电动调压，不想使用气动 G 系列（需要气源）。

标准闭环控制成套方案

系统组成：BAR‑J100 (‑B) 电动伺服蝶阀 + MGCS‑11 真空压力控制器 + 电容薄膜真空规
工作流程：真空规采集腔体压力 → MGCS‑11 执行 PID 运算 →输出控制信号驱动 BAR‑J100 伺服电机调整蝶板角度 →动态补偿进气、泵抽扰动，锁定工艺压力。
MGCS‑11 支持 7 组 PID 参数存储，RS485 对接上位 PLC，适配自动化产线流程。

选型横向对比（BAR‑J100‑B VS G‑J100 VS GAR‑J100B）

表格
项目 BAR‑J100‑B（电动蝶阀带抱闸） G‑J100（气动伺服蝶阀） GAR‑J100B（电动伺服闸阀）
驱动 DC24V 伺服电机，‑B 电磁抱闸 0.4‑0.6MPa 压缩空气驱动 DC24V 伺服电机，‑B 电磁抱闸
失电 / 失气状态 断电抱闸保持阀位 失气弹簧直接全关 断电抱闸保持阀位
结构 蝶板式，蝶板留在流道内 蝶板式，蝶板留在流道内 闸板式，全开闸板退出流道，颗粒*
颗粒等级 工业级，中等 工业级，中等 半导体量产极低颗粒
适用定位 镀膜、锂电常规量产设备 实验室、中试，气源充足 半导体刻蚀、CVD 高端产线
布线 DC24V 供电 + 信号线缆 仅需压缩空气气源 DC24V 供电 + 信号线缆
成本 中等 中等 较高

供货与选型提示

  1. 供货状态：BAR‑J100 为 BAR 系列流通主力经济型型号，部分现货；‑B 抱闸版本、CF 法兰、Kalrez 密封为定制，日本原厂订货；可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书。
  2. 选型避坑：不可与普通开关蝶阀 B‑J100 混淆；B‑J100 仅开关，无开度调节，不能做闭环压力控制；标准 BAR‑J100 无抱闸，需要断电锁止必须‑B 后缀。
提示：市场存在翻新二手阀，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。
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