MIYUKI 美幸辉 B‑I200 ISO‑F DN200 两位通断气动蝶阀玉科原装供应

MIYUKI 美幸辉 B‑I200｜ISO‑F DN200 两位通断气动蝶阀（分子泵隔离 / 腔体隔断）

原装供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司，负责人林经理¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸ 

*（www.shashinkagaku.com），办公地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层

型号：B‑I200，ISO‑F DN200（200A）两位式气动蝶阀
B 系列为纯开关通断阀，只有全关、全开两个位置，无任何中间调节开度；薄阀体，大流导，低放尘，主打管路隔离切断；用于分子泵隔离阀、腔体隔断、主抽回路通断，不做压力调节、慢抽控制。

型号释义

  • B：两位式气动开关蝶阀，仅全开 / 全关，无调节功能
  • I：ISO‑F 欧标真空法兰
  • 200：公称通径 DN200（200A）
可定制：JIS、KF、CF 刀口法兰；密封升级 Kalrez (FFKM) 全氟醚适配等离子腐蚀工况；可选单作用弹簧失气全关版本。

结构与工作原理

  1. 齿轮齿条气缸驱动，双作用标准型
    仅 0° 全关、90° 全开两个机械位置，无中间档位，不能做 PID 调压、不能做慢抽；气缸两端内置气垫缓冲，启闭冲击小，降低振动与密封磨损，延长密封圈寿命。
  2. 阀位信号反馈：内置 2 路独立微动开关，输出全开、全关无源接点信号，直接对接 PLC 实现自动化联锁；可直观反馈阀门实际状态，防止误判。
  3. 阀体薄对夹结构：流导大，管路压降小，适合大口径主抽管路；SUS304 镜面电解抛光 EP，洁净室装配，低放气低析出，适配工业与半导体中高真空系统。
⚠️注意：阀体支持* 150℃烘烤；气缸执行器环境温度≤40℃，严禁烘烤气缸组件。
标准双作用：断气保持当前阀位；选型单作用弹簧复位版本，失气自动全关，用于安全联锁场景。

完整技术参数

表格
项目 B‑I200 ISO‑F DN200 参数
公称通径 DN200（200A）ISO‑F 法兰
真空工作区间 1×10⁵Pa（常压）～1×10⁻⁵Pa 高真空
泄漏率 阀座内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，氦检出厂
驱动气源 0.4‑0.6MPa 洁净干燥无油压缩空气；标准双作用，可选单作用弹簧复位
阀位模式 仅 0° 全关 /90° 全开，无中间开度、无慢抽功能
过流材质 阀体、蝶板 SUS304，内腔镜面电解抛光 EP
标准密封 FKM 氟橡胶，‑25～120℃；可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚密封
烘烤温度 阀体* 150℃；气缸执行器≤40℃，不可烘烤
机械寿命 ≥100 万次循环，气垫缓冲降噪
电气信号 2 路微动开关：全开、全关阀位信号输出

典型应用场景（分子泵隔离 / 腔体隔断）

  1. 分子泵、涡轮泵前端隔离阀
    停机隔离分子泵，防止大气倒灌冲击泵体；泵维护检修时切断腔体与泵组，保障腔体真空状态。
  2. 大型真空腔体隔断、主抽管路通断
    锂电、光伏、大型镀膜设备主回路切断；腔体维护时隔离泵组，不用整台停机；适配欧美进口 ISO‑F 法兰设备改造替换。
  3. PVD、卷绕镀膜、热处理炉主管路切断
    只做通断隔离，不参与压力调节；搭配旁路阀、慢抽阀实现完整抽气时序。
选型边界区分：
  • B‑I200（B 系列开关蝶阀）：只做全开全关隔离切断，无慢抽、无调压功能；
  • BH‑I200（BH 两段缓抽阀）：全关‑慢抽‑全开三机械档位，用于防飞溅预抽；
  • BAR‑I200（BAR 电动伺服蝶阀）：0‑90° 连续角度可调，配 MGCS‑11 实现 PID 闭环稳压；
  • G‑I200（G 气动伺服蝶阀）：气源驱动连续 PID 闭环调压。

系统配置方案

系统组成：B‑I200 两位通断蝶阀 + 电磁阀 + PLC 联锁控制
工作流程：PLC 控制电磁阀，实现阀门全开 / 全关；阀位开关反馈给 PLC 做互锁逻辑；分子泵停机时关闭 B‑I200，隔绝大气保护泵组；如需慢抽预抽，需要额外配置 BH 系列缓抽阀或者旁路针阀。

选型对比（B‑I200 VS BH‑I200 VS BAR‑I200）

表格
项目 B‑I200 两位通断蝶阀 BH‑I200 两段缓抽蝶阀 BAR‑I200 电动伺服蝶阀
驱动 气动双作用（可选弹簧复位） 双气缸气动两段式 DC24V 伺服电机，可选‑B 抱闸
阀位模式 只有全关、全开两位置 全关‑慢抽‑全开三机械档位 0‑90° 连续角度可调
控制能力 仅通断隔离，无慢抽、无 PID 机械档位，可慢抽，不可 PID 闭环 配 MGCS‑11 实现 PID 闭环稳压
适用定位 分子泵隔离、腔体隔断 大腔体预抽，防物料飞溅 镀膜、锂电，连续压力闭环稳压

供货与选型提示

  1. 供货状态：B‑I200 大口径开关蝶阀，部分现货；Kalrez 密封、单作用弹簧复位版本日本原厂订货；可提供原厂规格书、氦检报告、CE 证书。
  2. 选型避坑：B‑I200 是纯开关阀，无慢抽、无调节功能；工艺需要慢抽必须选用 BH 系列；需要压力闭环选用 BAR/G/GAR 伺服系列。
提示：市面存在翻新二手阀，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。
点击阅读全文 >>