MIYUKI 美幸辉 MGCS‑21｜双通道独立真空压力控制器（双腔体 / 双工艺段独立控制）

原装供应：玉崎科学仪器（深圳）有限公司，负责人林经理¹⁵⁸¹⁵⁵⁵099⁸

*（www.shashinkagaku.com），办公地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道 906 号电商集团 7 楼整层

⚠️仅适配BAR、GAR、G 伺服调节阀；不能驱动 BAZ 定点阀、BH 缓抽阀、B 开关阀。

型号释义

• MGCS‑21：双通道独立 APC 真空压力控制器；通道 CH‑1、CH‑2 硬件完全独立；

可定制：UPS 断电保护；RS485 通讯；机柜 19 英寸半机架安装。

结构与工作原理

1. 双通道完全独立 PID 闭环控制
   每通道独立真空计输入、独立 PID 运算、独立阀门驱动输出，两个腔体工艺压力、PID 参数、配方完全分开，互不影响；支持 PIDAT 一键自整定，每通道可单独自整定，适配不同腔体容积、不同泵抽速工况。
   闭环逻辑：真空计采集腔体压力→对应通道 PID 运算→输出驱动信号调节对应伺服阀开度→改变流导，稳定腔体工艺压力。
2. 人机界面：5 英寸彩色触摸屏
   分屏同时显示 CH‑1、CH‑2 设定压力、实际压力、阀门开度、报警状态；每通道可独立调用存储工艺配方。
3. 信号接口

• 模拟输入：每通道 1 路 0‑10V 真空计输入，合计 2 路独立真空传感器；
• 驱动输出：2 路伺服阀驱动输出，分别驱动 #1、#2 伺服调节阀；
• I/O 干接点：每通道独立启停、报警、就绪信号；全局报警输出；
• 通讯：RS‑232C，可选 RS485；支持 PLC / 上位机远程对两个通道分别下发设定、读取压力、开度数据。

1. 断电保护：支持外接 UPS 不间断电源，保存阀位与工艺参数。

安装：19 英寸半机架机柜安装；工作环境 0‑55℃，避免粉尘腐蚀性气体。

完整技术参数

典型应用场景（双腔体 / 双工艺段独立控制）

1. 双腔 PVD、串联式卷绕镀膜设备

   前处理腔体与镀膜腔体，两个腔体需要维持不同工艺压力；一台 MGCS‑21 分别驱动两台伺服阀，两套闭环独立稳压，省去两台单通道 MGCS‑11，节约机柜空间与成本。
2. 双工位半导体、光伏工艺腔体

   两套腔体并行工艺，压力参数不一样；通道 1、通道 2 可独立启停，互不干涉。
3. 科研双腔体系统、对比试验平台

   两个实验腔体需要分别稳压，做对照工艺实验；每通道独立整定 PID，适配不同腔体特性。

选型边界区分：

• MGCS‑21（双通道独立）：2 套独立腔体，各配 1 台伺服阀，两套闭环完全独立运行；
• MGCS‑11（单通道）：单腔体控制；如需双腔，必须配置 2 台 MGCS‑11；
• MS‑PC：BAZ/GAZ 定点阀控制器，不能做 PID 压力闭环。

系统成套配置方案

⚠️重要提醒：

1. MGCS‑21只支持 BAR/GAR/G 系列伺服调节阀，不能驱动 BH 缓抽阀、B 开关蝶阀、BAZ 定点阀；
2. 两个腔体必须分别配置独立真空计，不可共用一只真空计；
3. 不是 “一通道接两个阀门”，而是一通道对应一套腔体 + 一套伺服阀。

选型对比（MGCS‑21 VS MGCS‑11×2）

供货与选型提示

1. 供货状态：MGCS‑21 双通道控制器，订货交期；UPS 断电保护、RS485 版本为定制；可提供原厂规格书、CE 证书。
2. 选型避坑：MGCS‑21 是两套独立闭环，不是单通道双阀输出；不可驱动 BAZ/BH/B 系列阀门；每通道必须配套对应伺服阀 + 独立真空计。

提示：市面存在翻新二手控制器，采购务必核对本体铭牌以及原厂检测资料。