产品概述

HiPace 300 系列属于中大型涡轮分子泵，泵体内置驱动电子单元，无需外置控制器，支持任意方位安装。分为复合轴承与全磁悬浮轴承版本，可实现高真空、高真空，适配工业工艺腔体、镀膜设备、表面分析仪器、科研平台。需要搭配前级泵协同工作。该系列提供多种功能版本，同时可选择防腐涂层、多种法兰、冷却方式、驱动模块与工业通讯接口。

核心参数

• 基础本体型号：HiPace 300、HiPace 300 M、HiPace 300 P、HiPace 300 H、HiPace 300 Plus

• 氮气抽速：260L/s

• 极限真空：＜5×10⁻¹⁰hPa

• 进气法兰：DN100 ISO‑K、DN100 ISO‑F、DN100 CF‑F 金属密封可选

• 排气接口：DN16 KF，G1/4" 破空口

• 驱动单元：TC110、TC400 两款可选

• 冷却方式：标配水冷，可选强制风冷

• 通讯：标配 RS485，可选 Profinet、EtherCAT、DeviceNet 工业总线

• 后缀衍生配置

• ‑K：防腐涂层版本，适配腐蚀性工艺气体

• 各版本特点

• HiPace 300：标准复合轴承，通用工况

• HiPace 300 M：全磁悬浮轴承，无润滑，维护周期长

• HiPace 300 P：高气体负载，适合大流量工艺

• HiPace 300 H：氢气高压缩比，侧重轻质气体抽取

• HiPace 300 Plus：低振动、低杂散磁场，面向精密分析设备

• 可选配件：前级真空泵、KF/CF 密封组件、通讯线缆、风冷风扇、破空阀、减震底座

产品优势

1. 驱动模块集成泵体，省去独立控制器，节省柜体安装空间，方便整机集成。 2. 支持多角度安装，转子经过激光动平衡处理，运行噪音低、振动小。 3. 版本覆盖齐全，复合轴承、全磁悬浮可选；磁悬浮版本无油润滑，几乎无维护。 4. 气体压缩性能优异，可以获得洁净高真空，本底残余低。 5. 完整运行状态监测，转速、温度、运行时长可读取，支持远程启停控制，可扩展多种工业总线对接自动化系统。 6. 法兰接口丰富，橡胶密封、金属 CF 密封可选；防腐版本可应对腐蚀性工艺气体，水冷、风冷按需选配。

使用注意事项

1. 涡轮分子泵必须配置前级泵，不可直接大气压启动，前级压力降到 15‑20hPa 以内才可开启分子泵。 2. 处理粉尘、腐蚀性工艺气体，选用‑K 防腐版本，进气侧增加前置过滤装置。 3. 水冷机型管控冷却水流量与进水温度；风冷机型预留通风空间，防止过热保护。 4. 高速运转状态，避免剧烈撞击；搬运尽量停机静置后操作。 5. 复合轴承版本需要按运行周期开展轴承维护；磁悬浮版本减少润滑维护，但仍需关注运行状态。 6. 不适合直接抽除大量水汽、大颗粒粉尘。

应用场景

科研高真空腔体；各类镀膜设备；表面分析仪器；半导体分析设备；大型氦检漏腔体；高校科研平台；工业真空工艺设备。