产品概述

HiPace 350/450 系列属于中大抽速等级复合轴承涡轮分子泵，泵体集成驱动电子单元，无需外置控制器，支持任意方位安装。转子针对氢气、氦气等小分子轻气体做专项优化，轻气体抽速与压缩比表现优异，体积紧凑重量轻。必须搭配前级泵使用，可实现高真空、高真空工况，覆盖科研分析、镀膜、半导体工艺腔体。提供多种驱动单元、法兰、冷却、防腐涂层、工业通讯选配。

核心参数

• 基础本体型号：HiPace 350、HiPace 450

• 轴承形式：复合轴承（真空端永磁径向轴承，前级端陶瓷滚珠轴承）

• 转速：66000rpm，转速可调 60‑*

• HiPace 350：氮气抽速 300L/s；进气法兰 DN100 ISO‑K / ISO‑F / CF‑F；排气 DN16 KF

• HiPace 450：氮气抽速 380L/s；进气法兰 DN160 ISO‑K / ISO‑F / CF‑F；排气 DN25 KF

• 极限真空：＜5×10⁻¹⁰hPa

• 压缩比：氮气 1×10¹¹，氩气 1×10¹¹，氦气 1×10⁸，氢气 2×10⁶

• *允许前级压力：10hPa

• 驱动单元可选：TC110、TC120、TC400；供电 24V DC /48V DC

• 冷却方式：标配水冷，可选强制风冷；水冷耗水量 100L/h

• 整机重量：HiPace350 约 7.2‑7.6kg；HiPace450 约 11.5‑12.1kg

• 噪音：≤50dBA

• 防护等级：IP54

• 通讯接口：标配 RS485；可选 Profinet、EtherCAT、DeviceNet 工业总线

• 衍生配置后缀

• ‑K：防腐涂层版本，适配腐蚀性工艺气体

• 可选配件：前级真空泵、KF/CF 密封组件、通讯线缆、风冷风扇、破空阀、减震底座

产品优势

1. 驱动单元内置泵体，省去独立控制器，节省设备柜体安装空间，便于整机集成。 2. 转子针对氢气、氦气轻气体优化，轻气体抽速高，压缩比*，腔体残余轻气体本底更低。 3. 支持任意角度安装；转子激光动平衡工艺，运行振动低、噪音小。 4. 复合轴承结构，抗冲击抗震动，长效润滑脂，维护周期长，可现场开展轴承更换维护。 5. 完整运行状态监测，转速、温度、运行时长可读取，支持远程启停控制，可扩展多种工业总线对接自动化系统。 6. 法兰规格丰富，橡胶密封、金属 CF 密封可选；‑K 防腐版本适配腐蚀性工艺气体；水冷、风冷两种冷却方案按需选配。

使用注意事项

1. 涡轮分子泵必须配套前级泵，不可直接大气压启动，前级压力降至 10hPa 以内才可开启分子泵。 2. 处理粉尘、腐蚀性工艺气体，选用‑K 防腐版本，进气侧加装前置过滤装置。 3. 水冷机型管控冷却水流量与进水温度；风冷机型预留充足通风空间，避免散热不良触发过热报警。 4. 高速运转状态避免剧烈撞击晃动，搬运移动尽量停机静置后操作。 5. 复合轴承按照运行周期开展轴承维护更换。 6. 不适合直接抽除大量水汽、大颗粒粉尘。

应用场景

各类质谱分析设备；表面分析仪器；科研高真空腔体；镀膜设备；半导体工艺腔体；大型氦质谱检漏腔体；工业真空工艺设备。