原装vat楔形设计的高压门阀
61.3 HV蝶式控制阀提供了压力控制性能。凭借其快速且的动作控制器（0.1秒），它是CVD和ALD工艺中精细控制解决方案。该板起节流元件的作用，改变阀门开启的导电率。61.3的集成压力控制器计算出所需的板材位置，以尽快达到设定压力。它特别设计用于气流中颗粒的严苛下游过程。尽管设计上存在高颗粒载荷和碎片堆积，61.3号机仍保持全功能运行。61.3系列已在数千个高要求的应用中安装，且在各种工艺条件下取得了可靠性。凭借坚固的设计和直接安装选项，以及更简便且易于维护，61.3系列在各方面都令人信服。车体材料、表面处理、弹性体、法兰连接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自适应、固定PI下游/软泵）等多种设计选项简化了在各种真空应用中的集成。
原装vat楔形设计的高压门阀
气体流动中副产物比例过高可能导致阀门故障以及因沉积物形成而产生的非计划维护工作。09.1 高压门阀带有楔形设计防止了这种情况。得益于其特殊的楔形设计和自清洁功能，即使阀座上有大量沉积物，它也能可靠地关闭和打开。由于门阀为楔形设计，可能的沉积物会被专门从阀座或门阀密封处推落，以确保密封的可靠性。
09.1高压阀门在高达1巴差压下正常工作。
09.1 高压门阀楔形设计已在数千个高要求的应用中安装，且已证明其可靠性。尤其在子厂应用中，它已成为真空泵隔离的标准解决方案。由于设计选项多样，闸阀可以轻松集成到任何应用中。
精度：读数的 1.0%
模拟输出：0-10 VDC
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优势：Honeywell霍尼韦尔 Emerson 艾默生(Rosemount罗斯蒙特)
Sensata森萨塔 Omega Banner 邦纳 TEConnectivity 泰科 ADI亚德诺
