| SWIM1510MS，白光干涉仪器，纳米深度3D形状显微检测仪 | ||||||
| 产品特点及用途 | ||||||
| 结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含 | ||||||
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晶体（Wafer） 光盘/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk）） 平面电组件（MEMS Components） 平面液晶显示器（LCD） 高密度线路印刷电路板（HDI PCB）） IC封装（IC Package）） 以上其它材料分析与组件微表面研究 |
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| 级的3D图形处理与分析软体（Post Topo） | ||||||
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提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析 提供自动表面平整化处理功能 提供高阶标准片的软件自校功能 深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式 线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（Rorghness）与起伏度 （waviness）的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据（Wafer） 区域分析方式提供图形分析与统计分析。 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（FFT）处理功能。 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出 |
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| 级的3D图形处理与分析软体（Post Topo） | ||||||
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系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹 垂直高度可达0.1nm 高度的分析算法则，让你不在苦候测量结果 垂直扫描范围的设定轻松又容易 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择 平台XYZ位置数显示，使检标的寻找快速又便利 具有手动/自动光强度调整功能以取得佳的干涉条纹对比。 具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择。 具有的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌。 具有自动布补点功能 可自行设定扫描方向 |
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| 白光干涉仪器，纳米深度3D形状显微检测仪 技术规格参数 | ||||||
| 型号 | SWIM1510MS | |||||
| 系统配备 | 显微镜、扫描控制器、移动平台、取像单元、个人电脑 | |||||
| 显微镜 | 单眼显微镜（标准配件） | |||||
| 干涉物镜（选配） | 放大率 | 10X 20X 50 | ||||
| 视野（ mm） | 0.5 0.25 0.1 | |||||
| 光学解析度（mm） | 1.12 0.84 0.61 | |||||
| 影像缩放 | 1.0X（标配） 0.5X（选配） | |||||
| 垂直扫描控制器 | 扫描范围 | 100um 400um | ||||
| 扫描解析度 | 0.1nm | |||||
| 扫描模式 | 自动 | |||||
| 光强度调整 | 自动/手动 | |||||
| 扫描速度 | 12nm/s | |||||
| 样品移动平台 | X、Y平面移动平面 | 150mm*100mm,手动（标准配件） | ||||
| Z轴移动平台 | 80mm,手动（标准配件） | |||||
| 位置数位显示单元 | 三轴光学尺与三轴数位显示器（解析度 1um） | |||||
| 偏移调整平台 | 手动 | |||||
| 取像单元 | 影像感测量 | 面型CCD（标准配件） | ||||
| 感测器解析度 | 640*480（标准配件） | |||||
| 电脑配置 | Pentium-Computer ,17"LCD Monitor,120G以上硬盘 | |||||
| 分析软体 | MS-Windows相容的资料撷取与分析软体 包含ISO粗糙度/阶高分析，快速薄利叶转换和滤波，多样的2D和3D观测视角图，外形分析，图像缩放，标准影像档案格式转换等等 | |||||
| 阶高标准片（选配） | 50nm | 170nm | 230nm | 470nm | 1800nm | |
白光干涉仪器，纳米深度3D形状显微检测仪 应用案例：
白光干涉仪器，纳米深度3D形状显微检测仪
