IC200TBX520
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设备调试过程简介
1.伺服电机与机械结构的连接，及运行调试
1.1检查确认伺服主回路及控制回路接线是否正确，电机UVW动力线和编码器反馈电缆的接线是否正确，伺服I/O控制信号线的接线是否正确；
1.2再确保连线正常的情况下，伺服放大器进行通电，通过使用三菱伺服设置软件MR-CONFIGURATOR2，进行必要的参数设置和伺服I/O控制信号线的接线情况判断；
1.3在确认机械结构允许的情况下，通过三菱伺服设置软件MR-CONFIGURATOR2，进行点动或定位运行测试，调整设置相应的伺服自动响应参数或增益参数，以达到佳的运动控制；
2.QD75P4与伺服放大器之间的控制调试
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厦门光沃自动化设备有限公司
联系人：小杨
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TRICONEX 3721
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TRICONEX 8110
TRICONEX 8312
TRICONEX 3003
TRICONEX 3501E
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ESEC Model: 710-6-5 Wafer Mounter
Centigram: 70 Voice Mail w/(2) 2410-0226-17 Port Cards
Sigma Instruments Sigmatic Thickness Guage
Century Systems Model: OVA-128 Organic Vapor Analyzer
Tektronix Model: VX4244, 16 Channel Digitizer
Axcelis / Eaton: 0475-0010-0001 Magnet Exit Bellows
EUROTHERM TU1451 Single Phase SCR Power Controller =R
WENTORTH LABS CMP-100 CMP100 WAFER PROBER TEST
Pfeiffer Balzers: TPH-062 Turbo Molecular Vacuum Pump
HP 1046A PROGRAMMABLE FLUORESCENCE DETECTOR
PTS / Programmed Test Sources: D310 Freq. Synthesizer
