天瑞膜厚仪校准与FP校准

  一、X射线测厚仪的完整校准

  对于单一的校准参数设置，测厚仪很难对整个测量范围进行校准测量。因为随着材料厚度的增加，探测信号变弱，导致信号与干扰的比值变化，影响测量；同时X射线测厚仪对于探测输出的微弱信号敏感度变低。因此，当试样厚度增加时，有必要增加射线输出能量，以得出较厚试样时的校准曲线。RM215测厚系统可以设置6个校准测量范围作为标准，每个范围包含了其固有的射线高压设置。这些范围彼此互相重叠，这样的话，当待测厚度与名义厚度差别较大时，仍可以包含在测量范围之内。RM215测量系统的校准可以通过触摸屏上的按钮或利用网络传输信号来启动校准。根据测厚仪的校准设置（标准和范围），和相应的电压范围设置，测厚仪自动按二进制序列将标准中的小厚度试样置入射线光束探测区域，开始校准测量。在每一个校准点，都会有两个有轻微差异的测量值通过它们可以计算出两个系数，这是用来寻找给定能级下探测仪的输出量的上下限。利用同样的步骤，找到更多测量点，并不断增加厚度值，直到完成整个测量范围的测量。终，从整合的数据中得出系数，以保证表格中没有进行实际测量的厚度值也能够计算得出。校准数据应存储至闪存中，以便测厚仪启动时能够及时载入数据。当测厚仪设置发生改变时，测厚仪将计算出新的名义厚度值，合金补偿。测量范围由这个新的名义厚度决定，若新厚度值在测量范围重叠区域内，则系统将选择边界值与该厚度值相差大的那个范围，这个大的范围称作“远离名义值”它可以测量得出。

  二、X射线测厚仪的单点校准

  当某名义厚度测量需要达到精度，则使用单一校准点或者所谓的零点法。用户可通过点击触摸屏上的零点（ZERO）按钮，或者使用电脑传输指令，启动单一点校准。测厚仪将自动将偏差约为名义厚度值±5%的试样放置在射线测量区域中，并计算相应系数。