光电轮廓仪 WGL 特 点由于仪器测量精度高，具有非接触和三维测量的特点，并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果，本仪器适用于各级测试、计量研究单位工矿企业计量室，精密加工车间，也适用于高等校和科学研究单位等。■本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法，测量时不损伤工件表面，能快速测得各种工件表面微观形貌的立体图形，并分析计算出测量结果。■适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘的刻线深度 ■光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处的结构形貌 ■磁（光）盘、磁头表面结构测量；硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。 参数名称 参数值在连续表面上，相邻二象素之间没有大于1 / 4 波长的高度突变时1000 一1nm相邻二象素之间含有大于1 / 4 波长的高度突变时130 一1nm测量的重复性Ra 0.5nm物镜倍率40X数值孔径65工作距离0.5mm仪器视场 目视0.25mm摄象0.130.13mm仪器放大倍数 目视500摄象（计算机屏幕观察）2500接收器测量列阵1000X1000象素尺寸5.25.2m测量时间采样（扫描）时间1S仪器标准镜 反射率（高）～50 %反射率（低）～4 %照明光源白炽灯6V 5W绿色干涉滤光片波长≒530nm半宽度≒10nm主显微镜升程110 mm工作台升程5 mmX 、丫方向移动范围～10 mm工作台旋转运动范围360工作台顷斜范围6计算机系统P4 , 2 .8G 以上，内存1G以上17寸纯平显示器
