影响探头法测试方阻精度的因素

影响探头法测试方阻精度的因素

影响探头法测试方阻精度的因素：
　　（1）要求探头边缘到材料边缘的距离大大于探针间距，一般要求10倍以上。
　　（2）要求探针头之间的距离相等，否则就要产生等比例测试误差。
　　（3）理论上讲探针头与导电薄膜接触的点越小越好。但实际应用时，因针状电极容易破坏被测试的导电薄膜材料，所以一般采用圆形探针头。