21800系列闭合回路气动节流闸阀节流阀利用标准的 HVA21200系列真空阀门设计外加一个金属节流调节装置. 这个节流调节装置包括了一个MKS 146C 真空规格测量和控制系统、欧姆龙模拟型光纤传感器和放大器、一个气动压力控制器和一个大尺寸的 HVA 压差执行装置. 的气缸设计使冲击和振动减少到小. 这些真空闸阀真空腔内没有机械锁,这样此就非常有益于半导体制造和其他敏感过程要求操作时相对自由振动的. 所有移动的接头都有硬轴,减少微粒的产生并且使驱动更容易. 这个系统在一个闭合回路中通过监测阀门的实际位置和系统的压力和电导来操作。在压力/电导模式下, 这个真空阀门开启或者关闭直到MKS流量或压力表监控到需要的系统达到气流量. 除了控制阀门, MKS 控制器可以监控两个计量表. 在真实位置模式, 阀门驱动器活塞式被欧姆龙传感器监控的. 传感器信号发送到 MKS 控制器, 然后相应的与所需要的阀位到启动压力控制器. 压力控制器控制压差适用于控制活塞按照要求的方向移动.
21800系列闭合回路真空节流阀产品特点
1. 的节流控制机构可以无限的从全开到全关变化
2. 不锈钢焊接波纹管
3. 标准或者定制法兰
4. 1000000使用周期(视系统而定)
21800系列闭合回路真空节流阀技术参数
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连接形式：
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标准或定制法兰
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主体材料：
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不锈钢
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公称通径：
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DN100-DN300 mm
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漏率:
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2x10E-10 AtmCC/Sec
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压力范围:
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1x10E-10 Torr
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烘烤温度:
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《150℃
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适用介质：
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水、蒸汽、空气
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密封形式：
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软密封型
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驱动方式：
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气动
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使用寿命:
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1000000使用周期
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真空闸阀的启闭件是闸板，闸板的运动方向与流体方向相垂直，闸阀只能作全开和全关 ， 不能作调节和节流。闸板有两个密封面 ， *常用的模式闸板阀的两个密封面形成楔形、楔形角随阀门参数而异 ， 通常为 5°， 介质温度不高时为 2°52' 。楔式闸阀的闸板可以做成一个整体，叫做刚性闸板；也可以做成能产生微量变形的闸板 ， 以改善其工艺性 ， 弥补密封面角度在加工过程中产生的偏差 ， 这种闸板叫做弹性闸板。此阀一般水平安装。
21800系列闭合回路真空节流阀产品应用
这些真空闸阀节流阀可以和低温泵,涡轮分子泵,离子泵或者其他要求清洁,高效循环,少量维修保养和紧闭关闭的低漏气阀门.
21800系列闭合回路真空节流阀产品部件图
美国 HVA 真空阀门-美国真空阀门制造商。美国HVA原装进口真空阀门，过50年的高真空和高真空阀门设计与制造。主营高真空闸阀，高真空角阀广泛应用于半导体、镀膜、激光、科研、工业等领域。上海伯东是美国HVA 真空阀门在地区代理商。
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真空阀门种类的不同，适用的场合也不同，下面就真空闸阀、真空截止阀、高真空蝶阀、高真空球阀等不同种类的阀门，讲叙阀门的特性及常用区域。*还根据使用要求的不同如何选择阀门，比如按照按防止介质倒流选用阀门、按调节介质参数选用阀门。
一、真空闸阀的介绍及选型
真空闸阀是作为截止介质使用，在全开时整个流通直通，此时介质运行的压力损失*小。闸阀通常适用于不需要经常启闭，而且保持闸板全开或全闭的工况。不适用于作为调节或节流使用。对于高速流动的介质，闸板在局部开启状况下可以引起闸门的振动，而振动又可能损伤闸板和阀座的密封面，而节流会使闸板遭受介质的冲蚀。从结构形式上，主要的区别是所采用的密封元件的形式。根据密封元件的形式，常常把闸阀分成几种不同的类型，如：楔式闸阀、平行式闸阀、平行双闸板闸阀、楔式双闸板闸等。*常用的形式是楔式闸阀和平行式闸阀。
二、真空截止阀的介绍及选型
真空截止阀的阀杆轴线与阀座密封面垂直。阀杆开启或关闭行程相对较短，并具有非常可靠的切断动作，使得这种阀门非常适合作为介质的切断或调节及节流使用。截止阀的阀瓣一旦处于开启状况，它的阀座和阀瓣密封面之间就不再的接触，并具有非常可靠的切断动作，合得这种阀门非常适合作为介质的切断或调节及节流使用。
真空截止阀一旦处于开启状态，它的阀座和阀瓣密封面之间就不再有接触，因而它的密封面机械磨损较小，由于大部分截止阀的阀座和阀瓣比较容易修理或更换密封元件时无需把整个阀门从管线上拆下来，这对于阀门和管线焊接成一体的场合是很适用的。介质通过此类阀门时的流动方向发生了变化，因此截止阀的流动阻力较高于其它阀门。
追答
常用的真空截止阀有以下几种：
1)角式截止阀;在角式截止阀中，流体只需改变一次方向，以致于通过此阀门的压力降比常规结构的截止阀小。
2)直流式截止阀;在直流式或Y形截止阀中，阀体的流道与主流道成一斜线，这样流动状态的破坏程度比常规截止阀要小，因而通过阀门的压力损失也相应的小了。
3)柱塞式截止阀：这种形式的截止阀是常规截止阀的变型。
在该阀门中，阀瓣和阀座通常是基于柱塞原理设计的。阀瓣磨光成柱塞与阀杆相连接，密封是由套在柱塞上的两个弹性密封圈实现的。两个弹性密封圈用一个套环隔开，并通过由阀盖螺母施加在阀盖上的载荷把柱塞周围的密封圈压牢。弹性密封圈能够更换，可以采用各种各样的材料制成，该阀门主要用于“开”或者“关”，但是备有特制形式的柱塞或特殊的套环，也可以用于调节流量。
HVA 闭合回路闸阀 21800系列
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