半导体特气检漏仪 XP-703D胂膦乙硼烷硅烷氢气

发布时间:2016-12-05
半导体特气检漏仪 XP-703D
半导体特气检漏仪XP-703D
产品特点
检测对象气体:胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等
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青岛路博伟业环保科技有限公司
青岛市城阳区金岭工业园锦宏西路与路博大道交叉口
性能参数

* 适合于检测半导体特气的微量泄漏
* 采用声光报警

青岛路博伟业环保科技有限公司公司主营:烟气分析仪,汽车尾气分析仪,气体检测仪,酒精检测仪,室内空气检测仪,安防仪器设备,烟气分析仪仪器配件;仪器仪表事业部自行研发了气体检测仪器、烟气分析仪烟尘采样分析仪、酒精检测仪器等,照度计,VOC检测仪、 其中 气体检测仪器包括甲醛、一氧化碳、二氧化碳、氧气、氮气、有毒有害气体等检测仪器, [烟气分析仪,各类气体检测仪,甲醛、VOC、硫化氢、氮氧化物、等有毒有害气体检测仪,酒精检测仪,风速计,声级计,公司代理:日本新宇宙、美国华瑞、英思科、德国德图、菲索、日本理研、英国离子,凯恩,加拿大BW、霍尼韦尔,法国凯茂、美国汉斯、英国GMI、等。
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型号 XP-703D
检测对象气体 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
检测原理 热线型半导体式
采样方式 自动吸引式
可检测浓度
(单位:ppm)
砷烷  磷烷  乙硼烷  硅烷  氢气 
AsH3   PH3   B2H6   SiH4  H2 
0.2   0.3   0.1   0.5  1.0
检测表示 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度 10秒以内
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