S530参数测试系统美国吉时利Keithley图-广州日横电子科技有限公司

S530参数测试系统美国吉时利Keithley（图）

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S530 功能

 能轻松适应新设备和测试要求

 快速、灵活、交互式测试计划制定

 兼容于常见的全自动探头测试台

 提供 1kV、C-V、脉冲生成、频率测量和低压测量选项

 兼容于 Keithley 的 9139A 型探头卡适配器

 支持重复使用现有的五英寸探头卡库

 经验证的仪器技术确保在实验室和工厂中实现高测量精度和可重复性

吉时利的S530参数测试系统采用了成熟的源和测量技术，可满足工艺控制监测、工艺可靠性监测以及器件特性分析所需的全部直流和C-V测量。

主要特点:

 半导体行业具的全自动参数测试仪

 专门针对各种产品混合的环境而优化设计，这种环境下的高度灵活性和测试规划的快速制定至关重要

 可选择小电流和高电压系统配置
– 小电流配置支持测量小电流特性，例如亚阈值漏流、栅极漏流等
–高电压配置专门针对监测 GaN、SiC和 Si LDMOS 功率器件的工艺而优化设计

 兼容常见的全自动探针台

 脉冲产生、频率测量，以及低电压测量的仪器选件

 接线引出（Cabled-out）测试仪配置大限度地提高了探针台接口的灵活性，并扩展了电压量程
–兼容吉时利的9139A型探针卡适配器
–支持现有5英寸探针卡库的重用

 久经考验的仪器技术确保在实验室和工厂环境下均可获得高测量准确度和重复性

系统架构

每套S530系统配置由5层组成：

 仪器层 – 除了SMU仪器，S530还提供脉冲产生或进行C-V测量、频率测量，或低电压测量的选件。

 通路层 - S530系统提供高保真度信号通路，测试期间可动态重新配置，使任何仪器均可连接至任何引脚或引脚组。

 电缆接口层 - 全部系统互连均采用完全屏蔽和保护的三轴低漏流、高电压电缆，确保更高的测量完整性。

 探针卡适配器（PCA）层 - 该层提高了探针卡的屏蔽和保护，确保测量完整性。此外，PCA为需要直接连接探针卡及必须旁路信号通路开关矩阵的仪器提供了辅助输入。

 探针卡层 - 该层包括探针卡供应商提供的定制卡。

S530通路性能

通路类型	关键特性	大电压	大电流	备注
小电流 I-V ¹	低漏流	200V	1A	大受限于200V，提供佳低电平信号性能和的C-V性能。
高电压 I-V ²	1300V	1300V	1A	支持低电平测量，但没有小电流通路低。
通用 I-V ²		200V	1A	适合于大多数参数测试，极低电流和/或高电压测试除外。
C-V ²		200V	1A	的C-V性能，但不适合于直流I-V测量。

1. 仅限小电流系统。
2. 仅限高电压系统。

S530系统连接选件

连接选件	探针卡类型	特性	优势
标准吉时利9139A PCA（S400型）	圆形陶瓷	提高探针引脚的驱动保护	的小电流测量。支持多达64个引脚：可方便针对其他仪器选件的辅助输入进行配置
定制电缆，连接至现有PCA类型	通常用于采用边缘卡连接器的5英寸矩形探针卡	兼容现有探针卡库	通过重用现有探针卡，降低迁移费用
无端接电缆	无端接电缆端连接至通路输出	直接连接至现有接口或夹具	提供的电缆，优化系统性能
无电缆	定制探针卡	无需购买电缆	使用定制探针卡厂家提供的电缆系统

S530参数测试系统美国吉时利Keithley（图）

规格条件

23°C ±5°C，1 年。
相对湿度5%至60%，1小时预热。
系统级规格在吉时利探针卡适配器终端。
所有技术指标均基于独立仪器1年校准周期。
除非另加说明，均为1PLC（工频周期）下的测量技术指标。
电容规格是典型的@quiet模式。

I/V源通用技术指标

大输出功率，每SMU：20W（四象限源出或吸入操作）。
一致性：一致分辨率和准确度由使用的量程决定。

简明技术指标

小电流系统

电流量程

大电压

测量

源

电流量程

大电压

分辨率

准确度

分辨率

准确度

1 A

200V

10 μA

0 .03% + 1.5 m A + 1 .3 pA/V

20 μA

0.05% + 1.8 mA + 1.3 pA/V

100 mA

200V

1 μA

0 .02% + 20.0 μ A + 1 .3 pA/V

2 μA

0.03% + 30.0 μA + 1.3 pA/V

10 mA

200V

100 μA

0 .02% + 2 .5 μA + 1.3 p A/V

200 nA

0.03% + 6.0 μA + 1.3 pA/V

1 mA

200V

10 nA

0. 02% + 200.0 nA + 1 .3 pA/V

20 nA

0.03% + 300.0 nA + 1.3 pA/V

100 μA

200V

1 nA

0 .02% + 25.0 nA + 1 .3 pA/V

2 nA

0.03% + 60.0 nA + 1.3 pA/V

10 μA

200V

100 nA

0 .03% + 1.5 nA + 1. 3 pA/V

200 pA

0.03% + 5.0 n A + 1.3 pA/V

1 μA

200V

10 pA

0. 03% + 50 0.6 pA + 1 .3 pA/V

20 pA

0.03% + 8 00.6 pA + 1.3 pA/V

100 nA

200V

1 pA

0.0 6% + 10 0.6 pA + 1 .3 pA/V

2 pA

0.06% + 100.6 pA + 1.3 pA/V

10 nA

200V

100 fA

0 .15% + 3 .6 pA + 1.3 pA /V

200 fA

0.15% + 5.6 p A + 1 .3 pA/V

1 nA

200V

10 fA

0. 15% + 88 0.0 f A + 1 .3 p A/V

20 fA

0.15% + 2.6 p A + 1.3 pA/V

100 pA

200V

1 fA

0.1 5% + 760.0 fA + 1 .3 p A/V

电流量程

大电压

测量

源

电流量程

大电流

分辨率

准确度

分辨率

准确度

200 V

100 mA

1 mV

0.02% + 50 mV

5 mV

0.02% + 50 mV

20 V

1 A

100 μV

0.02% + 5 m V

500 μV

0.02 % +5 mV

2 V

1 A

10 μV

0.02% + 480 μV

50 μV

0.02% + 730 μV

200 mV

1 A

1 μV

0.02% + 355 μV

5 μV

0.02% + 50 5 μV

电容	10kHz	100kHz	1MHz
10 pF	0.50%	0.50%	1.00%
100 pF	0.50%	0.50%	1.00%
1 nF	0.50%	0.50%	4.00%
10 nF	0.50%	0.50%	5.00%
100 nF	1.00%	1.00%	5.00%

大信号电平：100mV
直流电压量程：±30V

高电压系统¹

电流量程

大电压

测量

源

电流量程

大电压

分辨率

准确度

分辨率

准确度

1 A

200V

10 μA

0.03% + 1.5 mA + 0 .94 pA/V

20 μA

0.05% + 1.8 mA + 0.94 pA/V

100 mA

200V

1 μA

0.02% + 20.0 μA + 0.94pA/V

2 μA

0.03% + 30.0 μA + 0.94 pA/V

20 mA

1100V

100 μA

0.04% + 1.2 μ A + 0 .94pA/V

500 nA

0.05% + 4.0 μ A + 0.94 pA/V

10 mA

200V

100 μA

0.02% + 2.5 μA + 0.94 pA/V

200 nA

0.03% + 6.0 μA + 0.94 pA/V

1 mA

1100V

10 nA

0 .03% + 200.0 nA +0.94 pA/V

50 nA

0 .03% + 300.0 nA + 0.94 pA/V

100 μA

1100V

1 nA

0 .03% + 25.0 nA + 0 .94 pA/V

5 nA

0.03% + 60.0 nA +0.94 pA/V

10 μA

1100V

100 nA

0.03% + 1.5 nA + 0. 94 pA/V

500 pA

0.03% + 5.0 nA + 0.94 pA/V

1 μA

1100V

10 pA

0. 03% + 50 4.1 p A + 0.94 pA/V

50 pA

0 .04% + 804.1 pA +0.94 pA/V

10 nA

200V

1 fA

0. 06% + 10 4.1 p A + 0.94 pA/V

2 fA

0 .06% + 104.1 pA + 0.94 pA/V

10 nA

200V

100 fA

0 .15% + 7 .1 pA + 0. 94 pA/V

200 fA

0.15% + 9.1 pA + 0 .94 pA/V

1 nA

200V

10 fA

0.15% +4 .4pA + 0.9 4 pA/V

20 fA

0.15% +6.1pA + 0. 94 pA/V

100 pA

200V

1 fA

0 .15% + 4.3pA + 0. 94 pA/V

¹ 规格采用高性能通路。当使用通用通路时：
– 大电压限制在200V。
– 泄漏增加率3.6pA/V。
– 小量程低精度（100pA通过 1μA）。

电流量程

大电压

测量

源

电流量程

大电流

分辨率

准确度

分辨率

准确度

1000 V

20 mA

10 mV

0.015% + 50. 2 mV

50 mV

0.02% + 100.2 mV

200 V

1 A

1 mV

0.015% + 50.0 mV

5 mV

0.02% + 50.1 mV

20 V

1 A

100 μV

0.015 % +5.0 mV

500 μV

0.02% +5.1 mV

2 V

1 A

10 μV

0.02% +374. 0 μV

50 μV

0.02% + 680.0 mV

20 mV

1 A

1 μV

0.015% + 324 .0 μV

5 μV

0.02% + 680.0 mV

电容	10kHz	100kHz	1MHz
10 pF	0.50%	0.50%	3.00%
100 pF	0.50%	0.50%	2.00%
1 nF	0.50%	0.50%	7.00%
10 nF	0.50%	0.50%	5.00%
100 nF	1.00%	1.00%	5.00%

使用的C-V通路
大信号电平：100mV
直流电压量程：±30V

脉冲产生单元选件

每PGU的通道数：2。
大电压：±40V。
典型脉冲宽度范围：100ns 到1s。
典型脉冲周期：50ns 到200ms。

频率分析选件

典型频率测量范围：10kHz 到 20MHz。
典型幅度测量范围：10mV_RMS 到 1V_RMS。

低电压数字万用表选件

7位半的分辨率。
低量程：100mV：10nV分辨率。1V：100nV分辨率。

通用

柜宽及深度：60.2厘米 x 91.2厘米
（23.7英寸 × 35.9英寸）。
标称线路电源：100V、115V、220V、240V (50Hz、60Hz)。
功耗：2kW的配电装置，额定2.4KVA。
工作条件：
温度： 23 ° ± 5 °C （ 73.4 °F ± 9 °F ）。
湿度：30 ％至60 ％相对湿度，非冷凝，两个小时的预热时间。

S530参数测试系统美国吉时利Keithley（图）

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S530参数测试系统美国吉时利Keithley图

发布时间：2019-04-01

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