1、 将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。

2、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。

3、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。

4、 显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。

5、 待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，后则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。

6、 确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。

探针座点针测试

 1、 固定样品

将待测器件载入卡盘，调整好待测位置后,开启真空阀门控制开关，将WAFER/芯片或其它样品安全且牢固地吸附在卡盘上。

2、观测待测位置

打开光源，调整光源合适的亮度，使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将待观察点移动至显微镜下，同时调节显微镜的倍率，首先可放到低倍率找到待测点，使用样平台X-Y平移将待测点移动到视野正中间，再更换高倍率物镜，将影像调节清晰。

3、 点针

待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座上下左右三个旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，当视野中针尖有向前移动的趋势，证明已经接触。（也可以使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触）

4、测试

确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。

CL-6探针测试台的注意事项

 当您使用本仪器时，可能会碰到一些问题，下表列举了常见的故障及解决方法。

CL-6探针测试台的维护和保养

1、 电源使用

电源：220±10%，50—60Hz

2、 避免碰撞

探针台所使用的牙具为是非常精密的机械部件，在使用和运输过程中务必注意轻拿轻放，严禁磕碰，以免损坏仪器或影响机械精度。

3、环境控制

使用佳温度范围为5℃～40℃，佳湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果。机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。

4、 机台清洁

 每次使用完毕后，需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免泥沙等污物将接口堵塞导致接触不良。

 探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以湿布轻轻擦拭并吹干即可。机体表面有黏着物，可用肥皂水清洗，避免以汽油、石油精、溶剂或喷雾式杀虫剂喷之，以避免发生变色现象。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命.

 定期使用润滑油或润滑脂对活动结构进行清洁和保护。

 U型平台要定期用无水酒精清洗，使用防锈油浸泡，然后再使用无水酒精擦拭干净。

5、不要随意拆卸

不当的拆卸可能造成仪器损坏或降低精度与性能，因此，除非是特别可以拆开的部位，否则不要随意拆卸机械结构。

正确操作可以保证设备长时间无故障使用。如果需要维修请与公司售后部门联系。