SMC真空泵特点：
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；
(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；
(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；
(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。
SMC真空泵安装过程：
1、真空泵配件的泵和电机的安装：在进行真空泵配件的泵和电机安装的时候，真空泵和压缩机在安装前，先用手转动一下联轴器，以证实泵内是否有卡信及其它损坏现象。
2、真空泵与气水分离器间管路安装：真空泵或压缩机的排气管与气水分离器的进气管相连，管路法兰盘连接处，应用垫片使其可靠密合，真空泵或压缩机的进气管上应装有库阀，在排气管和阀门之间安装一只压力表。
3、真空泵配件之气水分离器的安装：气水分离器根据外形图安装在地基上。
