减薄仪 型号:WJ24-2102T库号：M406702

发布时间：2019-11-19
2102T 型离子减薄仪：
1.1 工作环境要求(Service Requirements)
1.1.1 电源（Electricity）： 1.2kW AC 220 ~ 240V 50Hz
1.1.2 气源 (Gas)： > 0.1MPa(1kg/cm2 ) 氩气
1.2 参数(specifications)
1.2.1 高压电源（High voltage supply×2）： 0 ~ 10kV (连续可调，短路保护)
1.2.2 离子束电流（Total current）： 0 ~ 1mA
1.2.3 离子束掠射角（Beam incidence angle）： 0°~ 45°（双面）
1.2.4 自动保护（Auto-shutdown）： 高压 (high voltage)，
1.2.5 样品旋转 (specimen rotation)
1.2.6 抽真空速率（Pumping speeds）： 分子加速泵 67L/min/ 隔膜泵 150L/m1.2.7 样品（Specimen×1）： 3 毫米直径 (3mm diameter)
1.2.8 样品减薄速率： 40μ m/h(Cu)
1.2.9 重量及外形尺寸（Weight and size）： 30kg，420mm×520mm×700mm
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