CM系列 探针台造型小巧，测量精度高，操作方便，符合人机工程学。主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。
CM探针台能够胜任的测试有：
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序号 |
根据测试样品分类 |
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序号 |
根据应用分类 |
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1 |
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1 |
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3 |
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3 |
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4 |
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4 |
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5 |
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5 |
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6 |
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7 |
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7 |
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8 |
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9 |
积分球测试 |
二、工作环境
l 探针台应放在稳定可靠的台面上，好是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。
l 使用佳温度范围为5℃～40℃，佳湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果。
l 使用电源：220±10%，50~60Hz
三、技术参数：
1、主要性能参数：
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规格 |
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Chuck |
4" 不锈钢，真空吸附型，独立开关控制 |
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Chuck X-Y轴行程，精度 |
4" x4"，<10um |
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Chuck 旋转角度 |
0~360 度 |
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Chuck 旋转角度微调精度 |
0.01° |
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Chuck快速升降 |
5mm |
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Chuck 平整度 |
5um |
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针座平台 |
U型设计，可放置8个BT 型针座 |
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针座平台平整度 |
5 um |
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显微镜Z轴行程，精度 |
2"，细调精度0.1um |
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需求 |
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电力 |
220 VAC, 60Hz |
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真空 |
-250 mmHg, 7 liter/min |
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尺寸 |
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400mm宽*4000mm长*400mm高（带显微镜） |
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重 30 Kg（带显微镜） |
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可选附件 |
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防震桌 |
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显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测 |
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光强/波长测试接口部件 |
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低电流/电容测试 |
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高压测试 |
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CCD视频系统 |
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液晶漏电分析套装 |
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屏蔽箱 |
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镀金Chuck |
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