HORIBA堀场电导率仪表HE-960HC
半導体製造やFPD製造工程の薬液・排液管理に*適
薬液管理や排水管理のパラメータの基本となる導電率計。HE- 960HCは、ワイドレンジを切替せずに測定することが可能です。
また、2種類の濃度換算機能を備えていますので、特定薬品の濃度変化をモニタでき、プロセス濃度計としても使用できます。
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形式 |
HE-960HC |
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センサ入力 |
1チャンネル |
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温度センサ仕様 |
測温抵抗体 1000 Ω/0℃ |
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周囲使用温湿度 |
温度:-5~45℃、湿度:20~85%(結露しないこと) |
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電源 |
AC100~240V ±10% 50/60Hz 20VA(max) |
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保護構造 |
パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部IP00(パネル取付屋内設置型) |
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質量 |
約550g |
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適合規格 |
CEマーキング、FCC Part15 |
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組合せセンサ |
FES-510シリーズ(流通型4極カーボン導電率センサ) |
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