現像液TMAHの濃度管理に*適
TMAH用導電率計 HE-960TMは、半導体・液晶プロセスで用いられるフォトレジスト現像液の主成分である、TMAH (Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)溶液の導電率を高精度に測定します。
専用センサのFES-120Niは、ワイドなレンジ幅を備え、さらに耐薬性の高い構造ですので、TMAH測定に*適です。