HORIBA堀场溶解臭氧监测仪HZ-960
溶存オゾンモニタ HZ-960は、半導体デバイス、液晶・ガラスのウエット処理プロセスで使用されるオゾン水の溶存オゾン濃度を連続モニタリングします。
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製品名 |
溶存オゾン濃度モニタ（変換器） |
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型式 |
HZ-960 |
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対応検出器 |
ZH-10、ZH-40、ZH-100、ZH-500 |
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測定対象 |
純水中のオゾン濃度 |
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電源 |
DC 24 V ±10％ 15 W |
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構造 |
パネル取り付け屋内設置型 |
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保護構造 |
パネル部：IP65（IEC60529、JISC0920）リヤケース：IP20、端子部：IP00 |
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適合規格 |
CEマーキング |
EMC指令：EN61326-1 |
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FCC規則 |
FCCPart15 |
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外形寸法 |
96（W）×96（H）×115（D） mm、ケース奥行：約105 mm（パネルマウント時） |
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質量 |
約550 g |
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