HORIBA堀场HZ-960HPO-M氧化氢监测仪
過酸化水素水モニタ HZ-960HPO-Mは半導体や太陽電池の洗浄プロセスにおいてパーテクル除去や不純物金属イオン除去に使用される過酸化水素水の濃度をモニタリングします。
インライン型センサで各種配管（PFA）径を取りそろえています。
センサと変換器は分離されており、センサをプロセスラインに組込み可能です。
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製品名 |
過酸化水素濃度モニタ（変換器） |
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形式 |
HZ-960HPO-M |
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対応検出器 |
ZH-10HPO |
ZH-40HPO |
ZH-100HPO |
ZH-500HPO |
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測定対象 |
純水中の過酸化水素濃度 |
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電源 |
DC 24 V ±10% 15 W |
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構造 |
パネル取り付け屋内設置型 |
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保護構造 |
パネル部：IP65（IEC60529,JIS C0920） |
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適合規格 |
CEマーキング |
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FCC規則 |
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外形寸法 |
96（W）×96（H）×115（D） mm |
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質量 |
約550 g |
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