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喷孔各项精度都优于钻削的加工精度。其加工原理是靠电极丝的轴向进给（X、Y、Z和W）与旋转轴（C）共同配合加工工件的。六轴数控电火花微孔加工机床设备具有如下特点：加工时的空载电压高低：喷孔的直径和流量随电压的增加而增大，但增量不大；电极丝三步进给量的大小：进给量的大小影响喷孔的锥度和和压力室圆角的大小，应根据不同的零件来通过试验确定合理的每步进给量；电极丝头部径向偏移量：加大偏移量会使喷孔直径增加，但可以缩短加工时间；六轴数控电火花微孔加工机床精度指标孔的加工精度（孔径.2mm厚度1.mm材料1Cr18Ni9Ti）:.5mm。
所以旋片泵极限真空度下降，噪声大，卡死等现象，与油的质量和机械转动有关。油扩散泵：油扩散泵是目前生产中常用的高真空泵，被广泛用于真空电子器件的排气车、真空冶炼、真空热处理、真空镀膜与真空焊接等设备中。它的主要特点是在高真空下。对各种气体都有很高的抽速，使用维护都很方便，无机械运动，不易损坏，但不足之处不能单独使用，必须有前级泵方可工作。油扩散泵是一种蒸气流泵，其工作原理利用蒸流的作用来将低密度气体压缩为较高密度使其达到机械泵能够作用气体压强范围被抽走。
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