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如果膨胀阀体全部结霜，表明流量过小。如果膨胀阀体只有入口侧结霜，表明阀体入口处过滤网部分被堵塞应清洗。果膨胀阀体完全无霜，表明无流量。无流量看看是不是制冷剂漏完或管路中截止阀没打开。如果完全没有流量，可以看看是不是膨胀阀感温毛细管漏气，或者过滤网完全堵死。感温毛细管漏气发出丝丝声说明制冷剂不足热力膨胀阀调整方法在调整热力膨胀阀之前，必须确认制冷异常是由于热力膨胀阀偏离总线佳工作点引起的，而不是因为系统制冷剂充注量不合适、干燥过滤器和膨胀阀滤网堵塞、电磁阀失灵、冷凝风机散热不良、新换压缩机的制冷功率与系统不配备等其他原因所引起的。
净化车间复合式(MixedType)：复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部洁净之空气。洁净隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域1%覆盖使洁净度等级提高至1级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。
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